150立式干涉仪主机说明书.docVIP

FSn-150激光平面干涉仪 使 用 说 明 书 南京英特飞光电技术有限公司 2007年6月 1 仪器简介 FSn-150是由本公司开发的菲索型立式激光干涉仪主机，可外接图像显示器形成目视观察、判读条纹的光机型干涉仪（Marc-150），也可加装移相器、计算机等构成数字波面干涉仪（Hi-Marc-150）。 图1 Hi-Marc-150干涉仪 由于干涉仪对抗震要求较高，本仪器的光学系统应放置在有防震垫的工作台（光学平台或大理石平台）之上，台面一般不小于仪器高度的1.5倍。 本仪器采用菲索干涉原理（图2），在图像接收光路中设置了空间滤波器来改善干涉图的质量；一个变倍系统可以放大干涉图以便观察小口径的被测件；电控的对点、测试切换使系统更稳定、调整更方便。高精度的标准参考反射镜保证了相对测量的准确度。 本仪器适合测量大口径平面光学元件的面形，无需特殊夹具。也可配各种光学调整架和辅助光学部件进行均匀性、平行差、棱镜角差等的测试。 本仪器主要用途为： 平面面形测量（非镀膜表面、高反射率镀膜表面*） 小角度平行平晶的楔角测量 角反射器（锥体棱镜）角度误差/综合波差测量* *注：部分测量需要另配特殊夹具和软件。 图2 菲索型激光干涉仪主机光学原理图 2 仪器主要技术指标 电源： 220V / 50Hz 光源： He-