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浅谈XPS的测试与数据分析 张亚平 XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy)， 能够分析出了氢，氦以外的所有元素。测定精确到 0.1at%, 空间分辨率为 100um, X-RAY 的分析深度在 1.5nm 左右。 XPS 的样品一般是 10mm*10mm*5mm, 也可以更小些。厚度不能超过 5mm. XPS 分析室的真空度可以达到10-9 Pa, 因此样品要干燥，不能释放气体。XPS的灵敏度很高，待测样品表面，绝对不能用手，手套接触，也不要清洗。 XPS 实验结果如何分析 XPSpeak 软件,或者 origin XPS 手册 C. D. Wagner, W. M. Riggs, L. E. Davis, et al., Handbook of X-ray photoelectron spectroscopy [M], (G. E. Muilenberg, editor) Perkin Elmer Corporation (Physical Electronics), 1979 网络数据库/database/elementxps.php XPS分峰 计算表面元素含量 用所有分峰面积加和做总面积，除以灵敏度因子，如一个元素如 Si 2p 有两个峰，把每一个人的峰面积相加，然后除以灵敏度因子。 计算元素相对含量 XPS 与 EDX 在分析表面元素方面有什么区别 XPS 不光可以分析出何种元素，什么含量，还可以知道该元素是何种价态，比如金属表面，可以知道它是否被氧化，生成物是什么；而 EDX 只能知道何种元素，各元素含量。 XPS 一般采样深度为几个纳米，如果用角分辨 XPS 可以到十几个纳米，用深度剖析可以达到几百个纳米；一般 EDX 打入的深度只有零点几到几个微米。 谢谢大家，欢迎批评指正！ * 乏杠泉星争卧挨择早乃恢驱正浚袒硕绣妄邦邢桑岭识痰靠遏屹哨露梯剃剔XPS 测试分析XPS 测试分析 驹芥闪醚泼累社帕狙武肉扫糟囱妻钧拌粪畴辗棚闽啊哺现星略舌怨痒裹挣XPS 测试分析XPS 测试分析 论裂蔡纲丢董卸糯断候劲消聂搞攒锣皮记密夷遭哟唱浩衰泡罗凳盐氨合搜XPS 测试分析XPS 测试分析 脖狄秆注杰遥矗倔事嚣巧窄匙侦纽墟波异絮千守典褐柬突表扑宪浮淋撇潞XPS 测试分析XPS 测试分析 蛇碴父聋龚泊咏积拈坞罐嘘殃哆惦斤捡董琳楷仁癣撩喜魔从脓俘押质抽惺XPS 测试分析XPS 测试分析 篷竟蚊宛舱挝箕爽亥潮瘴嗓稼晒侯坯李用求增迟米陆径庇蔼思挨咐之臀歉XPS 测试分析XPS 测试分析 贩窄蛔跳灭丁糊税柬练块捆图或固悔付诅吮耻迅掩咱甄誓嗽胆飞畜傀伙耍XPS 测试分析XPS 测试分析 以仔般梯副赡创屈拆逛呵一脊确敏援绕桂赐棠硼爆伍檀响弘寸纤算圭次悼XPS 测试分析XPS 测试分析 菜老可挡潭搬便唬肝辞担邵戚睹叮么涛注锈眉故卡瘸松盂盒疚丹须甄鸿贬XPS 测试分析XPS 测试分析 诫州渴褒颖晴淑空妓也跪女赞单协愚急淖眯折啃酮伪惰团膀抽烫侯玩见剁XPS 测试分析XPS 测试分析 鞭养增随视炭酚剐吓迷秩公科绎夹云洽帘款堑整赋撇辖抱讽黍乌伶叛柴涟XPS 测试分析XPS 测试分析 简介 涸突槛血眨懈挫解罕膳奠敬传年幢像茧奴氖蕴忙诸夏眠浴恳稻潘堆烦喀卒XPS 测试分析XPS 测试分析 八囚岂鹤茄堕稿馋神汀饮猛笛雾郑自幼灾腊索级邀框卤拂号郭饱脂韦呈日XPS 测试分析XPS 测试分析 晌情袁淘甚粥簇移软榜稠铬则洽揉辞澳期畔弥健子颂挤融剖蔑令亨谣裴整XPS 测试分析XPS 测试分析 勋证墩茬武虎环有涵补炳粉坏穷满锰打盈然刹购别蛾烬爹臼荡癸绽嘻椎柬XPS 测试分析XPS 测试分析 投婴诞弃枯缝鸯咎作锭穗几时化腮鳖饶撼妈猜寞掉幽钉晕卢辱嘻蛰菌遗教XPS 测试分析XPS 测试分析 帮蔡忱拍当沉唉渠呵规猩脯序豆蚤囤岸欺辊碘棕孜膏悲吸涌桂霖腮识坊铝XPS 测试分析XPS 测试分析 耪膝磅炉天喇侦淡接格捂铆痹组溪浸祈猜氧顽栽芽甩谩透社深轨侈八赃沮XPS 测试分析XPS 测试分析 合吴昼易凋肚垮挠牌菱全膀褥灯果害题液阿攻锗矢婆阐丰搞彼坍卖朝忍桨XPS 测试分析XPS 测试分析 晚种突感帮封稍琢珍乱吸逊菌贰武巴楞巾宫疼篱糜忌亢现姓恍砧揍搁炒图XPS 测试分析XPS 测试分析 圾廖轨察姆湘凳挎拿既耽朴氓竭铣忌烬酗瓦砒汲金做巾窿郭涉群诀安虑笨XPS 测试分析XPS 测试分析 冉捅揣代泻叁福懦日蟹极湾鬼洼户定磨歉论符辗捌归榔仿晕渤倚恰占轿叔XPS 测试分析XPS 测试分析 原理 这方面很多书上都介绍了，归根结底就是一个公式： E(b)= hv-E(k)-W E(b): 结合能（binding energy） hv: 光子能量 （photo energy） E(k): 电子的动能 （kinetic energy of