Chroma异常及解决.ppt

“ ” “ ” Chroma异常及解决 韩长清 机台死机 机台死机后，首先确定软体有无死机，若软体死机，则按一下红色半圆按钮，强制关机，然后按一下绿色半圆按钮开机；若软体未死机，按一下红色圆形复归按钮，再顺时针旋转，进行复归动作。如果复归后还是出现异常，可以正常关闭软件、关闭Windows系统，再开机。 Peak值异常 1、peak1值正常范围是（2500~3000）； 2、如果过高或过低，对波长亮度都会有影响； 3、正常情况下调节Exp1（最低值1.2）； 4、如果调节Exp1无效，需要动滤网（参见下页）； 注意： Exp1最好不要过大，50以下都还OK，如果过大，可以考虑增加滤网层数 滤网调节 这里有个小内六角螺丝，松开后，微调伸出或缩进，如果peak1能达到要求，再拧紧即可； 如果微调无效，将光纤向上顶，取出滤网。如果peak1为3900左右，减少一片后再装好即可；如果peak1为几十，则增加一片滤网。 注意： 1、内部的滤网需压平整，且滤网口要旋紧，否则会造成Peak1值不稳定的情况！ 2、滤网多少没有特别规定，按需添加即可 附： 图中蓝色箭头指示位置有两个固定光纤的内六角螺丝，须固定紧，防止机台在Run过程中造成光纤头晃动，使波长测值出现偏差 背面 CHUCK平台卡死 CHUCK平台固定在一个位置卡死后，安全关闭电脑软件及系统，关闭电源，手动将CHUCK拉回HOME位置后，停机10分钟，再打开机台供电，开机。 若还是无法解决，安全关机，关闭供电，将连接到轨道上的接线插头插拔一下，再开机。 若还是无法解决，一般是轨道接线有问题，联系厂商调换。 机台电源，逆时针旋转90°即可关闭机台供电 ?角过大，无法自动调节 转轮 ?角调节开启 若上片时圆片放置角度过大，机台无法自动调节水平，可按一下?按钮，然后转动转轮，手动调节水平，调整OK后再按一下?按钮。 点测中心和显微镜中心十字校准 如果出现偏针情况，可对CCD中心和点测中心进行十字校准： Map有个十字线，显微镜也有个十字线，将目标晶粒放置水平，并将其中心对准在两个十字中心即可； 如果还是不行，可进行P2P校准，详见SOP。 显微镜视图 Map视图 中心 XY轴伺服器问题 伺服驱动报警，每次动作后需要关闭机台电源，以清除报警信号 伺服马达Driver 显示屏正常会显示一个5位的坐标数据，如异常报警，则显示“AL”（即报警Alarm的缩写）+报警代码 XY轴驱动报警：AL E6 异常名录：伺服的紧急停止报警 异常原因：表示紧急停止无效（EMERGENCY-SG断开） 异常解决：可以以EMERGENCY为起点，逐一排查相关电路，特别需要注意与接地相关的电路连线 EMERGENCY背面接地线 XY轴驱动报警：AL 20 异常名录：编码器错误 异常原因：在编码器和伺服放大器间的通讯错误 异常解决： 1. CN2连接器断开 检查驱动接地连线 2. 编码器故障 更换伺服电机 3. 编码器电缆故障 （电缆线断开或短路） 对连接Driver的连线接头逐一排查，进行重拔插动作；若还是不行，可逐一更换Driver信号线 Driver的三根信号线 控制面板指示灯不亮 控制面板指示灯不亮时，先整机断电，再将控制面板下的信号线重新拔插，重开机即可。 如果还是不行，可更换信号线，进行检查。 控制面板的信号线一端在面板下方，另一端在机台前面右下角的电源组件的中间机箱上的长条并口线 控制面板下的信号线，两边有拨阀，须左右打开拨阀方可拔下信号线 电源模组的控制面板信号线接头 52961 mw亮度卡设置 通道选择须软、硬体一致 CH1通道 CH2通道 测试电流 小于100mA用CH2通道 大于100mA用CH1通道 由于测试机对各波段的亮度响应不同，故厂商写了一个CSV格式的修正文件，推荐使用，路径如下： \软件目录\PVResponseFile \QE 081022-LED-S3.CSV 控制响应文件生效与否 测试项数据缺失 正常测试时，发现某一项或几项测试数据为空值时，首先检查软体信号接口是否OK，接着检查测试机接头是否有接触不良，然后对相应板卡进行拔插动作，最后用OK机台的板卡替换进行测试，如确认是板卡问题，可联系厂商。 1-1：并行打印机端口 1-2：RS232串行端口 1-3：显示器、网线、键盘端口 1-4：USB端口 2-1：52983通讯卡 2-2：52981 ESD卡 2-3: 52962 mw波长卡 2-4： 52961 mw亮度卡 2-5： 52