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电子散斑干涉(ESPI)实验教案 电子散斑干涉(ESPI)系统简介及用途 电子散斑干涉技术，英文的全称是Electric Speckle Pattern Interferometry，缩写为ESPI。它靠CCD摄象机取得被测物表面的散斑信息，再用计算机进行图象处理，直接在屏幕上取得干涉条纹图。这一方法的优点是不用在暗房中进行试验，也不需对底版的显定影及付氏处理，并可对结果按设计人员的需要进行后处理，而且有速度快，操作简单的优点，这一技术发展得异常迅速，在光测力学领域得到应用，而且在非破坏性检查等领域得到推广。采用电子散斑干涉技术, 可以测量变形物体的面内位移、离面位移，也可以进行无损检测。本实验以离面位移显示为例，说明散斑相关的基本原理和图象处理方法。 实验目的 认识散斑现象和散斑的电子记录； 了解电子散斑干涉的原理和用途； 了解电子散斑图象处理的过程 实验设备及光路 图1系统光路 散斑图象采集系统由电子散斑干涉仪和图象采集卡组成。其中电子散斑干涉仪由外接激光器，散斑测量光路系统和CCD摄像头等部分组成。图1为散斑图象采集系统的组成图。软件采用ESPI程序，运行于Windows环境下，可以完成电子散斑图象的图象处理。试件可用气压周边固定的圆盘。 下图2为典型的对离面位移敏感的ESPI光路系统。 B:分光镜 M:反射镜 L1:扩束镜 L2:成象透镜 CCD：电视摄象头 图2 测量离面位移电子散斑干涉系统 以上的光路布置主要对离面位移敏感，对于涉及面内位移的测量，采用图3的对称光路布置即可。 B:分光镜 M:反射镜 L:扩束镜 CCD：电视摄象头 图3 面内位移敏感的电子散斑干涉系统 基本原理 当一束激光照射在光学粗糙表面上，由于漫射表面散射光的干涉将产生许多随机分布的亮暗斑点，用透镜成象后，在象平面上物光的复振幅分布为 (1) 其中是物光波振幅，是物光波的相位。 除了物光波之外，与全息干涉相类似，还需要有一个参考光波与其合成,图2为其一典型的对离面位移敏感的ESPI光路系统。 该系统将分光镜B1分出的一小部分激光经扩束后照射在一半透半反镜B2后与物体漫反射光相汇合而在CCD靶面干涉。其参考光波的复振幅分布为 (2) 其中和分别是参考光波的振幅与相位。 物光和参考光在CCD靶面上形成的光强I( r )为 (3) 当被测物体发生变形之后，表面各点的散斑场振幅基本不变，而相位将改变为，即。由于变形前后参考光波维持不变，因此位移后的合成光强I’( r )为 (4) 对于全息干涉，它是把二个不同时刻的光强记录在同一干板上，也即产生叠加效应。而在电子散斑干涉计量中，由于系统使用了视频记录与数字化存贮，因而可以将变形前后两幅干涉场分离，因此通常采用减模式信息表征方式，即： (5) 由（5）式可见，相减处理之后的光强是包含有高频载波项的低频条纹。该低频条纹取决于物体变形引起的光波相位变化。这个光波相位变化与物体变形关系可以从光波传播的理论中推导出来。对于图1所示光路系统有 (6) 其中，(是所用激光的波长，(是照明光与物体表面法线的夹角，W是物体变形的离面位移，U是物体变形的面内方向位移。 在一般情况下，照明角较小，cos((1，sin((0，所以 (7) 由（5）式可知，当=2n(＋(/2时，n=0，±1，±2，…时，IT 为极大值,即为亮条纹。此时相邻的两条条纹之间所对应的离面位移W=(/4。 根据（5）的公式可得到电子散斑干涉条纹所形成的条纹图。但是我们可以看到其条纹图存在有高频散斑的调制项，因此条纹质量较差，需进一步处理以提高条纹质量。主要手段是通过高频滤波把高频散斑去除。方法可以用硬件，也可以用软件，或者用相位处理的方法。 对于双光束照明条件下（测量面内位移）的物体变形与光波位相之间的关系，可以将一束光看成物光，另一束光为参考光，如图2类似。因此，式（6）也可以用来表示变形与相位之间的关系，但是由于变形对二束光的相位都有影响，所以合成的相位差与位移的关系为 （8） 由（8）式可以看到，双光束电子散斑光路将离面位移W消去，而只敏感于面内位移U。在作测量时，可以将(布置的较大，提高灵敏度。 条纹形成的一个