三楔形平板产生的等厚干涉两个不平行平面的分振幅干涉.pptVIP

(2).测量微小物体的厚度 (3). 测量微小角度. (4) 测量微小位移 ［例］在半导体器件生产中，为测定硅片上的Si02薄膜厚度，将薄膜一侧腐蚀成劈尖形状，如图。用钠黄光从空气中垂直照射到Si02表面上，在垂直方向上观察Si02劈尖膜的反射光干涉条纹，看到有七条暗纹，第七条恰位于N处，问薄膜的厚度？ * 三、楔形平板产生的等厚干涉 两个不平行平面的分振幅干涉，称为楔形平板的干涉。 （一）定域面及定域深度 楔形平板干涉条纹定域面的位置，也由 的条件确定，由于平板的两个表面之间有一个夹角，定域面与楔板相对于扩展光源的位置有关。见书P226 等厚干涉：平行光入射非均匀薄膜，i相同，对于不同的薄膜厚度e产生不同的干涉条纹， 这种干涉叫等厚干涉 。 实际中，扩展光源并非无穷大， 干涉条纹不只局限在定域面，在定域面附近也可以看到干涉条纹，这一定的区域深度为定域深度。 定域深度以外的区域看不到干涉条纹。 （二）楔板产生的等厚条纹 从光源S中心发出经楔板上下表面反射的两支光交于定域面上某点P，这两支相干光在P点产生的光程差为 精确计算较困难，近似用平行平板的光程差公式来代替 若照明平行光垂直入射楔板， 若楔板折射率处处均匀，干涉条纹与等厚度的轨迹相对应，这种条纹称为等厚条纹。 亮纹 暗纹 从以上亮纹或暗纹公式易导出，从一个条纹过渡到另一个条纹，平板的厚度变化为 对应光程差变化为 ，楔板的楔角 为条纹的间距 α e ?h ek ek+1 明纹 暗纹 条纹间距 又 干涉条纹分布的特点： e ek ek+1 明纹 暗纹 劈棱 （适于平行光垂直入射） (1). 当有半波损失时，在劈棱 处为暗纹， 否则为一亮纹； (2). 干涉条纹是平行于棱边的直条纹 (3). 相邻明（暗）纹间距 (4). 楔角愈小，干涉条纹分布就愈稀疏 劈尖表面附近形成的是一系列与棱边平行的、明暗相间等距的直条纹。楔角愈小，干涉条纹分布就愈稀疏；当用白光照射时，将看到由劈尖边缘逐渐分开的彩色直条纹。 三. 等厚条纹的应用 1. 劈尖的应用 测波长： 测折射率： 测细小直径、厚度、微小变化 测表面不平度 测细小直径、厚度、微小变化 Δh 待测块规 λ 标准块规 平晶 测表面不平度 等厚条纹 待测工件 平晶 检验透镜球表面质量 标准验规 待测透镜 暗纹 ? (1)检测待测平面的平整度 由于同一条纹下的空气薄膜厚度相同，当待测平面上出现沟槽时条纹向左弯曲。 待测平面 光学平板玻璃 将微小物体夹在两薄玻璃片间，形成劈尖，用单色平行光照射。 由 有 例如用波长为589.3nm的钠黄光垂直照射长 L=20mm 的空气劈尖，测得条纹间距为 例题 折射率为n=1.60的两块平面玻璃板之间形成一空气劈尖，用波长λ=600nm的单色光垂直照射，产生等厚干涉条纹，若在劈尖内充满n=1.40的液体，相邻明纹间距缩小Δl=0.5mm，求劈尖角θ。 解：设空气劈尖时相邻明纹间距为l1，液体劈尖时相邻明纹间距为l2，由间距公式 厚度每改变λ/2n条纹平移一条 (5)测介质折射率 例 用等厚干涉法测细丝的直径d。取两块表面平整的玻璃板，左边棱迭合在一起，将待测细丝塞到右棱边间隙处，形成一空气劈尖。用波长?0的单色光垂直照射，得等厚干涉条纹，测得相邻明纹间距为?L，玻璃板长L0，求细丝的直径。 解：相邻明纹的高度差 ? d ? ? ? 例题 在检测某工件表面平整度时,在工件上放一标准平面玻璃,使其间形成一空气劈尖，并观察到弯曲的干涉条纹，如图所示。求纹路深度H。 解 若工件表面是平的,等厚条纹应为平行于棱边的直线条纹。由于一条条纹对应一个厚度，由图的纹路弯曲情况可知， 工件表面的纹路是凹下去的。 H l a ? 工件 标准平面 由图：H=asin? 因 ：lsin? =?/2, 所以纹路深度 例题 波长?的光垂直入射折射率为n2的劈尖薄膜，n1 n2 ,n2 n3 ,如图所示 。在反射光中观察，从尖顶算起，第二条明纹对应的薄厚是多少？ 解 由薄膜公式，有 n3 n2 n1 ? ? 显然，取k=2; 于是第二条明纹对应的薄厚为 ［解］： M N 相邻暗纹间的膜厚之差 明、暗纹间的膜厚之差 故： ? *