真空的获得与测量.ppt

实验十 真空的获得与测量及真空蒸发镀膜 近代物理实验 郑州大学物理实验中心 实验原理 真空的获得－真空泵 机械泵：利用机械旋转造成吸气和排气获得真空 真空的获得与测量 极限真空约10－1Pa 旋片式真空泵工作原理图 油扩散泵：利用气体的扩散性质制作的，比机械泵能获得更高真空度，工作压力范围 10－1～10－6Pa 扩散泵原理图 真空的测量 热电偶真空计： 利用气体分子的热传导性质，通过热电偶产生的电动势来测量真空，测量真空范围10～10－1Pa 热阴极电离真空计 由电离规管和测量电路组成，电离规管由阴极（灯丝）、栅极和板极（收集极）组成，普通电离真空计的测量范围是10－1～10－6Pa 实验装置 实验内容与步骤 内容 分别作出机械泵、扩散泵对钟 罩抽气时压强与时间的关系曲线 步骤 （1） 首先检查整个真空系统，观察连接是否紧固，顺序是否正确，各个阀门是否处于关闭状态。 （2）接通电源，打开机械泵进行抽气，等机械泵运行平稳后，先打机械泵与扩散泵之间的前级阀门，用机械泵对扩散泵抽气。 （3）打开热电偶真空计，测量扩散泵室的气压，当真空的达到10-2Torr后，开启扩散泵的冷却水，打开扩散泵加热电源。 （4）扩散泵预热30分钟后，先关闭机械泵与扩散泵之间的前级阀门，打开机械泵与真空室的旁通阀门，用机械泵对真空室抽气。 （5）打开热电偶真空计，测量真空室气压，当真空的达到10-2Torr后，关闭机械泵与真空室之间的旁通阀门，打开机械泵与扩散泵之间的前级阀门，并打开扩散泵与真空室之间的主阀门。用扩散泵对真空室抽气。 （6）当热电偶真空计达到测量极限后，关闭热电偶真空计，打开电离真空计测量真空度。 （7） 在开机过程中随时记录下，不同时间不同开关阀门状态下的真空度，及随后的极限真空度。做出时间与真空度的变化曲线。 （8） 达到扩散泵极限真空后，开始进入关机程序。 （9） 先关闭电离真空计。然后关闭扩散泵与真空室之间的主阀门。关闭扩散泵加热电源，保持水冷和机械泵抽气状态。 （10） 30分钟后，关闭机械泵，关闭冷却水，关总电源。 实验目的 学习有关物理概念，掌握真空蒸发镀膜原理和设备操作 进一步学习和掌握高真空的获得与测量方法 真空蒸发镀膜 实验原理 被蒸发物质的饱和蒸气压PS 分子蒸发热 积分常数 环境温度 固体物质的蒸发率 蒸发系数 分子量 环境压强 气体分子的平均自由程 分子的有效直径 单位体积内的气体分子数 另外，镀膜层的质量和厚度还跟蒸发源的形状和镀件到蒸发源的距离有关 镀膜过程须在高真空状态下进行 实验装置 真空系统的结构（见前） 镀膜室结构图 轰击棒 烘烤炉 烘烤电极及插头 烘烤电极 烘烤挡板 工件架 镀膜室结构图 实验内容与步骤 内容 在一块平板玻璃的表面镀上一层金属反射膜 步骤1. 认真阅读真空镀膜机的使用说明书，熟练掌握开机步骤，及注意事项。2. 认真清洗基片（比如使用酒精丙酮等有机溶剂并使用超声波清洗机），并烘干。3. 打开镀膜机电源，开启机械泵对扩散泵室抽气；向镀膜机镀膜室放气，打开镀膜室钟罩，放好基片，放好蒸发源及蒸发材料，并清理镀膜室。4. 当扩散泵压力达到10-2Torr时，开扩散泵冷却水及扩散泵加热电源。5. 放好镀膜室钟罩，关闭镀膜室放气阀；关闭机械泵与扩散泵之间阀门；6. 开启机械泵与镀膜室阀门之间的阀门，对镀膜室抽气。此时可对基片进行离子轰击清洁基片表面，和进行基片烘烤（按实际研究工作需要取舍）。 7. 当镀膜室达到10-2Torr时，关闭机械泵与镀膜室阀门，并关闭离子轰击和基片烘烤。开启机械泵与扩散泵之间阀门。 8. 当扩散泵预热达到30分钟时，开启扩散泵与镀膜室阀门（此时镀膜室真空度应达到10-2Torr）。对镀膜室抽高真空。 9. 开启电离真空计测试镀膜室真空，当镀膜室真空度达到10-5Torr时，可以进行真空镀膜操作。 10. 关闭电离真空计。挡板挡住蒸发源与样品的通道。打开蒸发电极开关，逐渐加大蒸发电极电流，使蒸发源电极微红，保持数秒钟，使蒸发材料预熔. 11. 继续加大蒸发电流，使蒸发源赤红，移开挡板，蒸发材料开始蒸发并在基片上沉积。根据设计膜厚要求掌握蒸发时间。随后关闭蒸发电极电流。 12. 等待10分钟左右，待镀膜样品适当冷却一下，关闭镀膜室与扩散泵之间的蝶阀。从针阀向镀膜室放气。气压达到大气压后，打开镀膜室钟罩，取出镀膜样品。关上扩散泵加热电源。 13. 放上钟罩，关闭放气阀。打开机械泵与镀膜室阀门，抽镀膜室真空，至10-2Torr，关上机械泵与镀膜室阀门。 14. 继续用机械泵抽扩散泵室，待扩散泵加热电源关闭30分钟后，关闭机械泵。关闭镀膜机总电源。 15. 用干涉法测量镀膜样品膜厚（等厚干涉法）。 思考题