场发射环境扫描电镜、能谱仪、电子束背散射衍射仪配置及技术规格表.doc

场发射环境扫描电镜配置及技术规格表 交货期 1 场发射环境扫描电镜 1台 河南理工大学指定地点 按合同要求 附件2：设备配置及技术规格表序号 设备名称 技术参数 功能要求 数量 1 场发射环境扫描电镜 仪器设备的主要技术参数1 主机 1.1 分辨率 1）高真空 –– 30 kV下不低于1.0 nm (SE) –– 30 kV下不低于2.5 nm (BSE)* –– 1 kV下不低于3.0 nm (SE) ）低真空 –– 30 kV下不低于1.4 nm (SE) –– 30 kV下不低于2.5 nm (BSE) –– 3 kV下不低于3.0 nm (SE) 3）环境真空 (ESEM) * –– 30 kV下不低于1.4 nm (SE) 1.2 放大倍数 –– 高真空模式下：14–1,000,000，连续可调 –– 放大倍数误差：≤3% 1.3 电子光学 –– 高分辨肖特基场发射电子枪，具有自动对中和启动电子枪功能；在显示器中显示全部发射器参数的状态信息；灯丝寿命优于两年。 –– 加速电压：200 V - 30 kV，连续可调 –– 束流：最大200 nA并连续可调 –– 成像模式：二次电子像与背散射电子像，两者可以任意比率混合，自动调节和手动调节亮度、对比度。1.4 物镜光阑 –– 物镜光栏能自加热自清洁；无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑； –– 光阑寿命优于两年。 1.5 样品室 –– 样品台：4轴马达驱动，移动范围：X≥50mm；Y≥50mm；Z≥50mm；T:-5～+70°，R=360°连续旋转 –– 样品台移动重复精度：2um（X/Y方向） –– 样品室尺寸：≥2mm；兼容性高，预留EDS、EBSD、波谱仪以及其他标准扩展接口。 1.6 检测器 –– 高真空模式，E-T二次电子探头； –– 低真空模式，大视场低真空气体二次电子探头(LFD) –– 环境真空下模式，气体二次电子探头(GSED) –– 高灵敏度，低电压固体背散射电子检测器 –– 样品室红外CCD相机–– 图像处理：最大4096×3536像素 –– 图像文件格式：TIFF(8位或16位)，BMP或JPEG –– 单窗口或四窗口图像显示，四活动窗口，实时或静态按彩色或按灰度等级信号混合。 –– 256 帧平均或积分，数字动画记录 –– 基于以太网架构的数据传输系统； –– Intel双核控制和操作计算机系统，Windows 7操作系统；中央处理器：CPU：Intel酷睿i7 4.0GHz。内存：4G；独立显卡，2G显存；界接口：串行、并行、SCSI、USB 3.0接口、网络；硬盘1 TB；DVD刻录； –– 软件平台适用于Windows7 操作系统 –– 显示器：24寸 LCD 显示器 1.8 真空系统 –– 涡轮分子泵250l/sec和2个离子泵，两个无油机械泵； –– “穿过透镜”的压差真空系统，低真空模式下抽气区域不少于3个； –– 样品室真空度：高真空模式下＜6×10-4Pa，低真空模式下＜10～130Pa，环境真空模式下＜10～4000Pa 1.9 冷却系统 –– 配有循环水冷却器 1.10 其他配件或易损件 –– 配置相关配件或易损件（备用灯丝+光阑3套）。 2 附件 2.1 X射线能谱仪（EDS） –– 探头类型：电制冷硅漂移（SDD）探测器，采用场效应管（FET）集成设计的高速SDD芯片，有效探测器面积≥30mm2 ?–– 能量分辨率：在100000CPS条件下Mn Ka保证优于129eV，轻元素分辨率：C-K/57eV, F-K/67eV–– 单一处理单元能同时支持两个及多个探测器 ?–– 测定元素范围：号元素硼Be到95号元素镅Am–– 峰背比优于20000:1，谱峰稳定性：1,000cps到100,000cps，Mn Ka峰谱峰漂移小于1eV，48小时内峰位漂移小于1.5eV 2）能谱仪及图像系统 –– 能谱仪处理单元与计算机采用分立式设计，完整的能谱定性定量系统，带图像系统，能进行线面扫描； –– 电子数字图像最大清晰度：8192×6400； ––全谱智能面分布图清晰度4096*4096，单探测器输出最大计数率大于600,000CPS，可处理最大计数率大于1,500,000CPS。 3）智能化能谱分析平台 –– 一体化集成用户界面，所有应用软件在同一个平台上打开，支持用户自定义模式及账户管理，支持中、英文等多种操作界面。 –– 定性分析：可自动标识谱峰，可设定自动标定的元素范围，可进行谱重构，对重叠峰进行可视化谱峰剥离。 –– 定量分析：可对抛光表面或粗糙表面定量分析。采用定量修正技术，可对倾斜样品进行修正，并增强对轻元素的修正；具备有标样定量分析及无标样定量分析方法。 4）计算机及其附件部分 –– 计算机工作站，ED