第四章精密和超精密加工的机床设备.ppt

进给伺服系统是以机床移动部件（如工作台）的位置和速度作为控制量的自动控制系统，通常由伺服驱动装置、伺服电机、机械传动机构及执行部件组成。 进给伺服系统的作用：接受数控装置发出的进给速度和位移指令信号，由伺服驱动装置作一定的转换和放大后，经伺服电机（直流、交流伺服电机、功率步进电机等）和机械传动机构，驱动机床的工作台等执行部件实现工作进给或快速运动。 进给伺服系统 * 伺服驱动装置 指令 速度环 位置环 速度检测 闭环进给伺服系统结构 * 1、位移精度高 2、稳定性好 3、快速响应 4、调速范围宽 5、低速大扭矩 伺服系统的基本要求 * 对超精密机床，刀具和工件的z向和x向运动以及加工非球曲面的精密回转工作台都是由精密数控系统进行控制的。 精密数控系统通过直流伺服电机或交流伺服电机，双频激光测量系统检测z向和x向的位移反馈给精密数控系统，形成闭环控制系统，达到要求的位移精度。 二、精密数控系统 * 三、滚珠丝杠副驱动 进给的驱动元件，滚珠在丝杠和螺纹槽内滚动，摩擦力小，且滚珠在螺母内有再循环通道。滚珠丝杠副要求正转和反转没有回程间隙，要求滚珠丝杠和螺母间有一定的预载过盈。精密级和高精密级滚珠丝杠的螺母常做成两段组合。为减小滚珠丝杠的径向圆跳动和轴向跳动对导轨直线运动的影响，采用螺母和工作台柔性连接，即螺母装在柔性的过渡连接块上再和工作台固定。 * 四、液体静压和空气静压丝杠副驱动 提高进给运动的平稳性。液体静压轴承的间隙大，气体静压轴承的间隙小。 * 五、摩擦驱动 进一步提高导轨运动的平稳性和精度，优于滚珠丝杠副的驱动。 * 微量进给装置具有微量移动或微量转动及微量进给等功用。 微量进给机构应满足的要求： 精微进给和粗进给应分开； 运动部分必须是低摩擦和高稳定度的； 末级传动元件必须具有很高的刚度； 微量进给机构内部联接必须是可靠联接； 工艺性好，容易制造； 微量进给机构具有好的动特性； 微量进给机构应能实现微量进给的自动控制。 4.5 微量进给装置 一、对微量进给装置的要求 * 二、对微量进给装置的应用 实现微量进给； 实现超薄切削； 在线误差补偿； 用于切削加工非轴对称特殊型面。 * 三、机械结构弹性变形微量进给装置 * 压电材料可以将压强、振动等迅速转变为电信号，或将电信号转变为振动信号，也就是说压电材料在外电场的作用下可以产生微小变形，同时也可以将微小变形转变为电信号。 由于压电材料对于所加应力能产生可测量的电信号，因此在高智能材料系统中可用做传感器。在机器人上做触觉传感器可感知温度、压力，采用不同模式可以识别边角、棱等几何特征。同时这种材料具有热释电效应，可用作温度传感器。 压电陶瓷是一种具有能量转换功能的陶瓷，在机械力的作用下发生形变时，会引起表面带电。带电强度的大小，可以和施加电场的强度成正比，也可以成反比。因此，能够在各个领域中得到广泛应用。压电陶瓷PZT（PbZnO-PbT）。 四、压电和电致伸缩传感器进给装置 压电和电致伸缩传感器的材料 * 电致伸缩传感器的结构和性能 两片成一对，中间通正电，两侧通负电，将很多对陶瓷片叠在一起，正极联在一起，负极联在一起。要提高电致伸缩传感器的动态特性，应减少传感器中的陶瓷片，减少传感器的电容量。 * 电致伸缩式微量进给装置的结构 有较高的刚度和自振频率（200-500Hz） 调整使用方便 最好是整体结构，无摩擦力微位移 结构不要太复杂，便于加工制造 * * 4.6 机床运动部件位移的激光在线检测系统 一、激光在线检测系统的工作原理 超精密机床的工件的形状由机床的两坐标（z向和x向）的精密数控系统来控制工件和刀具的相对位置。精密数控系统现在采用闭环控制，即机床的运动部件的位移用装在机床内部的双频激光干涉测距系统随机精确检测，将数据反馈给精密数控系统，保证位移运动的高精度。 * 二、MSG－325超精密机床的激光检测系统 美国HP公司生产的HP5501两坐标双频激光干涉测量系统。主轴箱作z向运动，刀架作x向运动。激光测量系统的分辨率为0.01微米，大部分激光光路采用封闭。 * 三、三坐标测量机激光位移测量系统 三路激光位移测量系统 分辨率为0.01μm，测量精度在0.1μm * 四、LODTM大型光学金刚石车床激光测量系统 7路双频激光检测x和z方向位移 分辨率为0.635nm，测量精度在2nm * 1、各部件的尺寸稳定性好 采用尺寸稳定性好的材料制造机床部件； 各部件经过消除应力； 2、结构刚度高，变形小 结构刚度高、变形量极小，基本不影响加工精度； 各接触面和联接面的接触良好，接触刚度高，变形极小。 4.7 机床的稳定性和减振隔振 一、机床的稳定性 * 问题1：什么样的机床的稳定性好？ 问题2：怎样减少机床内部的振动？ 问题3：怎样减少外界