微电子学第一章 绪论课件.pptVIP

本课程的目的 什么是微电子学和微电子学是研究什么的； 对微电子学的发展历史、现状和未来有一个比较清晰的认识； 初步掌握半导体物理、半导体器件物理、集成电路工艺、集成电路设计、集成电路CAD方法、MEMS技术等基本概念，对微电子学的整体有一个比较全面的认识； 第一章 绪 论 什么是微电子学 晶体管的发明 集成电路的发展历史 集成电路的分类 微电子学的特点 什么是微电子学 微电子学：电子学的一门分支学科，研究电子在半导体和集成电路中的物理现象、物理规律及其应用。 微电子学以实现电路和系统的集成为目的，故实用性极强。 微电子学中的空间尺度通常是以微米(?m, 1?m＝10－6m)和纳米(nm, 1nm = 10-9m)为单位的。 微电子学是信息领域的重要基础学科。 微电子的特点 微电子学是一门综合性很强的边缘学科。 涉及了固体物理学、量子力学、热力学与统计物理学、材料科学、电子线路、信号处理、计算机辅助设计、测试与加工、图论、化学等多个学科。 微电子学是一门发展极为迅速的学科，高集成度、低功耗、高性能、高可靠性是微电子学发展的方向。 微电子学的渗透性极强，它可以是与其他学科结合而诞生出一系列新的交叉学科，例如微机电系统(MEMS)、生物芯片等。 集成电路 Integrated Circuit，缩写IC 通过一系列特定的加工工艺，将晶体管、二极管等有源器件和电阻、电容等无源器件，按照一定的电路互连，“集成”在一块半导体单晶片（如硅或砷化镓）上，封装在一个外壳内，执行特定电路或系统功能。 集成电路形式 封装好的集成电路 集成电路芯片的显微照片 集成电路设计与制造的主要流程框架 微电子和集成电路发展历史 1906，福斯特(L.D.Forest)真空电子管(vacuum tube：triode) 1947，贝尔实验室的巴丁(John Bardeen)，布拉顿(W.H.Brattain)和肖克利(W.shockley)发明了第一支晶体管，于1956年获诺贝尔物理学奖 典故：晶体管之父肖克利和他的“八叛逆” 1959，德州仪器(TI)科比第一个集成电路；同年，仙童诺伊斯(Noyce)第一个商用的集成电路 1960，仙童(Firechild)平面工艺:在硅片表面氧化生长氧化层掩蔽杂质扩散 1963，美国万雷斯(Wanlass)和萨支唐(Sah)CMOS=PMOS+NMOS，目前IC95%以上由CMOS构成 1967，美国丹纳(Dennard)动态随机存储器(DRAM)，78年，2um工艺10万集成度64KDRAM 1971，美国intel霍夫(Hoff)第一个微处理器。 微电子：信息社会发展的基石 自然界和人类社会的一切活动都在产生信息。信息是客观事物状态和运动特征的一种普遍形式，是人类社会、经济活动的重要资源。 社会的各个部分通过网络系统连接成一个整体，由高速大容量光线和通讯卫星群以光速和宽频带地传送信息，从而使社会信息化、网络化和数字化。 实现社会信息化的网络及其关键部件的，不管是各种计算机和/或通讯机，它们的基础都是微电子 1946年第一台计算机：ENIAC 这样的计算机能够进入办公室、车间和家庭？当时有的科学家认为全世界只要4台ENIAC 目前，全世界计算机不包括微机在内有几百万台，微机总量约6亿台，每年由计算机完成的工作量超过4000亿人年工作量 几乎所有的传统产业与微电子技术结合，用集成电路芯片进行智能改造，都可以使传统产业重新焕发青春 全国各行业的风机、水泵的总耗电量约占了全国发电量的30%，仅仅对风机、水泵采用变频调速等电子技术进行改造，每年即可节电500亿度以上，相当于三个葛洲坝电站的发电量(157亿度/年) 对白炽灯进行高效节能改造，并假设推广应用30%，所节省的电能相当于三座大亚弯核电站的发电量(139亿度/年) 电子装备更新换代都基于微电子技术的进步，其灵巧（Smart）的程度都依赖于集成电路芯片的“智慧”程度和使用程度 微电子对国家安全与国防建设的作用 武器装备水平与社会生产力、经济基础有密切关系 在农业社会：大刀长矛等冷兵器； 在工业化社会：枪、炮等热兵器 信息化社会： IC成为武器的一个组成元，电子战、信息战 微电子对信息社会的重要性 INTERNET基础设施 各种各样的网络：电缆、光纤(光电子)、无线 ...… 路由和交换技术：路由器、交换机、防火墙、网关 ...… 终端设备：PC、Net PC、WebTV ...… 网络基础软件：TCP/IP、DNS、LDAP、DCE ...… INTERNET服务 信息服务: 极其大量的各种信息 交易服务: 高可靠、高保密 ...… 计算服务: “网络就是计算机 !”, “计算机成了网络的外部设备 !” 微电子产业的战略重要性 IT行业停