第4章电容式传感器.pptVIP

e是高频电源，它提供了幅值为U的对称方波，VD1、 VD2为特性完全相同的两只二极管，固定电阻R1=R2=R，C1、C2为传感器的两个差动电容。 2. 二极管双T形交流电桥 二极管双T形交流电桥 VD1 e C1 C2 A B R1 R2 RL VD2 UL t * 电路工作原理 二极管VD1导通，电源对电容C1充电 二极管VD2截止，电容C2通过电阻R2、RL放电，电阻RL产生放电电压UL 二极管VD2导通，电源对电容C2充电 二极管VD1截止，电容C1通过电阻R1、RL放电，电阻RL产生放电电压UL（方向相反） 在电阻RL上得到两个电容C1、C2在不同时刻、不同方向的放电的电压UL VD1 e C1 C2 A B R1 R2 RL VD2 UL t 当电源电压e为正时 当电源电压e为负时 结果 I2 C2 UE + + C1 I1 R2 RL R1 I2 C2 UE + + C1 I1 R2 RL R1 未测量时， C1=C2，双T电桥电容充放电时间常数相同，则输出到负载RL上的电压平均值为0 测量时， C1和C2产生相反方向的变化，双T电桥电容充放电时间常数变化，从而改变负载电阻RL上电压平均值UL。 当取R1=R2=R时，理论分析可以得到 式中, f 为电源频率。 当RL已知，式中 则上式可改写为： 由上式可知，输出电压Uo不仅与电源电压幅值和频率有关，而且与T形网络中的电容C1和C2的差值有关。 3. 差动脉冲调宽电路 C1 C2 Uf _ _ + + FF R S A1 A2 Q Q _ U0 低通 滤波器 R1 VD1 VD2 R2 A1和A2开环，构成电压比较器。FF是RS触发器，R和S端分别低电平触发有效 C1和C2是差动传感器上的两个电容。 设电源刚接通时，RS触发器的状态是Q=1 Q=1 ，使VD1截止， 通过R1给电容C1充电，C1的电压升高；与此同时，VD2导通，C2电容开始放电，使得C2的电压下降。 C1 当UC1 Uf时， A1输出变为低电平 Q=0。使VD2截止， 通过R2给电容C2充电，C2的电压升高；与此同时，VD1导通，C1电容开始放电，使得C1的电压下降。 结果：触发器FF的两个输出端各产生一个矩形波，其脉宽跟电容的充放电时间常数有关。 U1为触发器输出高电位值 Uf为电压比较器的基准电压 T1=T2时，UA-UB的平均值为0 T1 ≠ T2时，UA-UB的平均值不为0，等于U0 当C1≠C2时， Uc1与Uc2分别对C1、C2充放电时间不同，此时UA、UB脉冲宽度不再相等，输出电压不再是零: 波形UA的平均值为 波形UA的平均值为 输出电压的平均值UAB为 因此 如果是差动式变极距型电容式传感器，输出电压为： 如果是差动变面积型电容式传感器，输出电压为： 一阶电路充放电的快慢取决于电路的时间常数 在R1=R2时，可得 4. 运算放大器式电路 运算放大器式电路原理图 A C Cx U0=f(Cx) Ui Σ Icx I1 Icb + - 图中的运放构成反相比例电路。 对于平板电容，Cx= ε S/δ 则： 可见，运放输出电压U0与电容动极板的机械位移δ呈现线性关系，解决了单电容非线性的问题。 该电路结构不易采用差动测量，此外电路输出只有在C和Ui稳定的情况下，测量才有比较小的误差。 4.4 应用举例 电容器的容量受三个因素影响，即：极距d、相对面积A 和极间介电常数? 。固定其中两个变 量，电容量C 就是另一个变量的一元函数。只要想办法将被测非电量转换成极距或者面积、介电常数的变化，就可以通过测量电容量这个电参数来达到非电量电测的目的。 4.4.1 压差式电容压力传感器 p1 p2 定极板 （金属镀层） 动极板 （金属膜片） a b c 玻璃衬底 电容式差压传感器 电极引线 结构 壳体是传感器的支撑结构 在壳体内有两个压室，分别通入被测压力p1、p2 电容的动极板 具有预张力的金属膜片作为感压敏感元件，同时作为可变电容动极板 电容的两个定极板 采用蒸镀加工工艺将电容的两个定极板蒸镀在弧形玻璃衬底上，构成传感器的两个差动电容。 当测量压室两边的压力相等时 F1= p1S F2= p2S 动极板金属膜片居中 两个电容相等。 当测量压室两边的压力不等时 p1p2 F1F2 动极板金属膜片弯向右边 p1p2 F1F2 动极板金属膜片弯向左边 两个差动电容一个增大、一个减小，且变化量（绝对值）大小相同。 p1 p2 a b