多功能蒸镀镀膜系统暨多靶磁控溅镀仪一套规格书.doc.doc

多功能蒸鍍鍍膜系統暨多靶磁控濺鍍儀一套規格書 （一）規格內容 A、Organic Process Chamber 1： 1.真空腔體： (1)腔體： *腔體尺寸: 600 (D)m/m×750 (H)m/m×650 (W) m/m *腔體材質: SUS304拋光鋼材 *外箱材質: 鏡面烤漆 *前門開啟腔體 *4吋視窗玻璃 × 2 *焊接方式：全周氬焊 (2)真空抽氣系統 (a)進口機械真空幫浦（Oil Pump）- *model：Pfeiffir 2033SD *Pumping speed：660 L/min *Ultimate pressure：＜ 3.0×10-3 Torr (b)冷凝真空幫浦 ×1 * model：CTI Torr8 *最高排氣速度：4200 L/sec （for water） *Inlet Flange：ISO200