MEMS陀螺仪简介.pptVIP

包括微机械陀螺应用的MEMS，在与材料和结构相关的行为和物理特征的整体表现和宏观理论存在很大的不同，在不同环境 (如阻尼、热、电、磁、力等)和工作过程，力学参数存在明显的变化，尺度效应、表面效应、隧道效应将远离宏观力学和物理定律的约束，宏观物理定律已经不能完全对 MEMS 的设计、制造工艺、封装以及应用进行解释和指导。这些因素限制妨碍了微机械陀螺性能的提高[18]。 微机械陀螺与传统陀螺相比表现在尺寸的缩小，但实际的工作原理存在根本的区别，微机械陀螺通过驱动结构进行高频振动，因哥氏效应产生与输入角速度比例的哥氏加速度来感知输入角速度，其驱动和检测方式也必须要遵循结构尺寸缩小情况下的尺度效应，即需要具有足够高检测灵敏度的方法来检测微小的作用力和作用位移的变化。 * MEMS陀螺仪简介 MEMS陀螺仪 MEMS陀螺仪基本概念 MEMS陀螺仪原理与器件 MEMS陀螺仪测试与应用 陀螺仪是一种用来传感与维持方向的装置，基于角动量守恒的理论设计出来的。陀螺仪主要是由一个位于轴心且可旋转的轮子构成。 陀螺仪一旦开始旋转，由于轮子的角动量，陀螺仪有抗拒方向改变的趋向。陀螺仪多用于导航、定位等系统。 按照制作原理及结构可将其大致分为机械式陀螺仪、光学陀螺仪、微机械陀螺仪三类。 1. 陀螺仪基本概念 各种原理的陀螺仪