表面技术：第四章 扫描探针显微镜.ppt

第四章 扫描探针显微分析 扫描隧道显微镜STM 原子力显微镜AFM 扫描探针显微镜SPM scanning tunneling Microscopy (STM，1982) Atomic force microscopy (AFM) Lateral Force Microscopy (LFM) Magnetic Force Microscopy (MFM) Electrostatic Force Microscopy (EFM) Chemical Force Microscopy (CFM) Near Field Scanning Optical Microscopy (NSOM) 扫描探针显微镜（SPM）是用来探测表面性质的仪器。 代表是扫描隧道显微镜和原子力显微镜。 材料制造尺寸已由微米、次微米，逐渐发展至纳米级精密处理，高分辨表面分析技术为重要关键技术之一。 扫描探针显微术(SPM)具有原子级表面形状分辨率，并可检测多种纳米级表面特性如力学特性、电性、磁性、热性等等。 优点为仪器体积小，样品无需特殊处理，可在任何环境下进行测量；缺点为缺乏成份分析功能。 SPM Head—the most important part Working concepts 常用显微分析方法 扫描探针显微镜（SPM）与其他显微镜技术的分辨本领范围比较 扫描探针显微镜的应用 呈现原子或分子