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* 第 10 章 真空科学和等离子体 前面讨论过的扩散、氧化和光学光刻是在常压下进行的 ，而离子注入、非光学光刻以及后面要讨论的许多工艺如干法刻蚀、物理淀积、化学汽相淀积等则需要在真空室中进行，有的还要涉及到等离子体和辉光放电的理论和技术。 10.1 气体动力学理论 气体分子热运动速度的大小的平均值 气体分子热运动速度在三个方向上的分量的大小的平均值 气体分子热运动速度的均方值 例如氮气分子在室温下的 约为 240 m/s。 气体分子在两次碰撞之间的平均距离，即 平均自由程 单位时间内撞击单位面积的气体分子的数目 气体的粘滞系数 式中，d 代表分子直径，n 代表单位体积内的分子数。 气体的扩散系数 单位 转换因子 标准大气压（atm） 1.333 ?10-3 帕或牛顿每平方米（Pa） 133.3 磅每平方英寸（PSI）