项目7机械制造新发展教材.ppt

机械制造技术基础 7.1.1 制造自动化技术的主要形式 7.1.1 制造自动化技术的主要形式 7.1.1 制造自动化技术的主要形式 7.1.1 制造自动化技术的主要形式 7.1.1 制造自动化技术的主要形式 7.1.2 自动化加工技术 7.1.2 自动化加工技术 7.1.2 自动化加工技术 7.1.2 自动化加工技术 7.1.2 自动化加工技术 7.1.2 自动化加工技术 7.1.2 自动化加工技术 7.1.2 自动化加工技术 7.1.2 自动化加工技术 7.1.2 自动化加工技术 7.1.2 自动化加工技术 7.1.2 自动化加工技术 7.1.2 自动化加工技术 7.1.2 自动化加工技术 7.1.3 自动检测技术 7.1.3 自动检测技术 7.1.3 自动检测技术 7.1.3 自动检测技术 7.1.3 自动检测技术 7.1.3 自动检测技术 机械制造技术基础 机械制造技术基础 图7-37 电磁驱动装置（直线电机）工作原理 逆压电元件 电磁铁 1 电磁铁 2 逆压电元件 电磁铁 1 电磁铁 2 电磁铁2去掉励磁，松开 逆压电元件 电磁铁 1 电磁铁 2 逆压电元件加励磁电压，伸长Δ 逆压电元件 电磁铁 1 电磁铁 2 电磁铁2加励磁，夹紧 电磁铁1去掉励磁，松开 逆压电元件 电磁铁 1 电磁铁 2 逆压电元件去掉励磁电压，恢复原长，电磁铁1移动 Δ 逆压电元件 电磁铁 1 电磁铁 2 电磁铁加励磁，夹紧 Δ Δ 7.2.2 微细与超微细加工技术 图7-38 直线电机驱动定位平台(YOKOGAWA公司） 7.2.2 微细与超微细加工技术 直线驱动与伺服电机驱动比较（表7-7） 表7-7 直线驱动与伺服电机驱动比较 性 能 伺服电机＋滚珠丝杠 直线驱动 定位精度(μm/300mm) 5～10 0.5～1.0 重复定位精度(μm) ±2～±5 ±0.1～±0.2 最高速度(m/min) 20～50 60～200 最大加速度(g) 1～2 2～10 寿命(h) 6000～10000 50000 7.2.2 微细与超微细加工技术 电极线沿着导丝器中的槽以5～10mm/min的低速滑动，可加工圆柱形的轴（图7-39）。如导丝器通过数字控制作相应的运动，还可加工出各种形状的杆件（图7-40 ）。 ◆ 线放电磨削法（WEDG） 图7-40 WEDG 可加工的各种截形杆 微细电加工 图7-39 WEDG工作原理 Ⅰ－Ⅰ Ⅰ Ⅰ 工件 金属丝 导丝器 7.2.2 微细与超微细加工技术 离子束 4. 刻蚀 （形成沟槽） 5. 沉积 （形成电路） 6. 剥膜 （去除光致抗蚀剂） 3. 显影、烘片 （形成窗口） 窗口 2. 曝光 （投影或扫描） 掩膜 电子束 图7-41 电子束光刻大规模集成电路加工过程 ◆ 光刻加工（电子束光刻大规模集成电路） 1. 涂胶 （光致抗蚀剂） 氧化膜 光致抗蚀剂 基片 7.2.2 微细与超微细加工技术 要求：定位精度 0.1μm，重复定位精度 0.01μm 导轨：硬质合金滚动体导轨，或液（气）静压导轨 工作台：粗动 — 伺服电机 + 滚珠丝杠 微动 — 压电晶体电致伸缩机构 图7-42 电致伸缩微动工作台 X Y 0 Py1 Py2 Px 微动工作台 工作台微动的形成： X运动： Py1＝ Py2 Px长度变化 Y运动： Py1＝ Py2 Py1长度变化 Z转动： Py1≠ Py2 ◆ 加工设备（电子束光刻大规模集成电路） 7.2.2 微细与超微细加工技术 利用氩（Ar）离子或其它带有 10keV 数量级动能的惰性气体离子，在电场中加速，以极高速度“轰击”工件表面，进行“溅