一种基于基本计设原则的新型超精密的坐标测量机.docVIP

一种基于基本设计原则的新型超精密的坐标测量机 引言 在当今社会，产品的使用功能经常要求零件的几何精度达到亚微米的范围。这样零件的生产过程不仅需要可靠和灵活的生产方法，而且还需要高精度的测量仪器。为了在有大的灵活性的前提下满足测量任务，皇家飞利浦电子工业技术中心成功研制出了一种新超精密坐标测量机的原型机达到体积不确定度重复性设计、校准和可预测性）运动如图下方 图1所示为超精密坐标测量机在右侧的图中，控制系统的某些部分除去以显示测量以及干涉仪的 图2带外壳的超精密坐标测量机原型机防护层的测量结构 测量结构由两个工作面构成，一个包含X轴的干涉仪，另一个包含Y和Z轴的干涉仪。两个工作面探针系统附连。符合阿贝，测量系统只需输出三个轴干涉仪相对的平移位置信息即可。这意味着这种由两个工作面面和一个柱构成的简单直接的结构是可行的。 研究中很重要的一点就是温度补偿模型。测量结构不由超级钢或微晶玻璃等材料做成。为了提高热补偿模型达到较小不确定度的能力，测量结构性能应该是可以预测的。因此使用具有高导电性的材料铝，并使用固体横截面几何形状可以达到非常高的导系数。此外，结构覆盖防护层。采用这种热防护层后平时非常复杂的热边界条件变得不那么复杂。图3所示为覆盖有热防护层的测量结构的一部分。热防护层与测量结构不直接接触。热防护层与测量结构的间隙大约为5mm。 补偿由温度引的测量结构的变形的补偿模型已经开发出来。测量结构上的温度分布18个热敏电阻测量。通过这些温度值，线性补偿模型可以计算出X、Y和Z轴方向的补偿值。通过测量不确定度的分析表明，温度导致的测量结构的变形是不确定度的主要来源。使用超级或微晶玻璃等材料代替，会使热膨胀降低至几纳米，不需要进行温度补偿。 4.2系统 总体结构的主要部分是系统，如图4所示。系统控制镜台的平移，支撑工件。如图1所示，控制系统被固定在花岗岩底座的顶部，被测量系统环绕。了一种具有高刚度的紧凑型滑轨。滑轨预加载荷的空气轴承支撑。外楔只能在X轴方向的沿导梁平移。两个外楔同向移动时，内楔将在X轴方向上平移。两个外楔反向移动时，内楔将在Z轴方向上平移。使内楔沿方向移动两个外楔构成的V型槽引导内楔沿Y轴在Y轴方向平移。滑块的固有频率是250Hz。 系统控制镜台的平移 滑块由基于直接驱动原理的洛伦兹驱动器驱动。因为结合了较低的驱动力（Y轴驱动器：2N；X、Z轴驱动器：5N）和较小的行程（Y轴驱动器：100mm；X、Z轴驱动器：140mm），所以可以使用较简单没有换相的驱动器。驱动器的简单设计使其可以很大程度上的集成在滑块保持滑块的紧凑。 应用空气重力补偿系统驱动器的发热最小。空气系统可以对沿重力轴方向Z轴）工件所有重量进行补偿。驱动器只为滑块提供动力大概而不包括加上工件重量可能重达130-200N的内楔重量。因此使用较小的驱动器显著减小热产生。 获得取决于工件的重量自动调节的补偿力，空气补偿系统被集成在伺服系统中。Z轴驱动力的静态分量可以量化实际重量和补偿力间的不匹配。因此，Z轴驱动力被用作重力补偿环的反馈信号。5.几何校机器的几何校准除了激光干涉仪系统的波长，包括镜台三个反射镜的垂直度误差和平面度误差。由于镜台需要在校准周期内保证几何稳定性长期稳定），所以镜台由微晶玻璃制造。 由于测量反射镜的位移造成的远程平面镜干涉仪的路径长度变化向量表示：（如图5所示） 测量反射镜的外法线单位向量由表示，入射光束的方向由单位向量表示。 倾斜测量镜平移时，光束通过激光干涉仪坐标测量机的测量束被出。台上坐标 从等式（1）得出远程平面激光干涉仪的功能方向是镜面法向量。激光束未与镜面法向量对其引入尺度误差，等于。需要注意的是考虑到给定的测量范围100 μrad的角度误会导致亚纳米级误差。因此，不考虑这样的小尺度误差，我们假设。 联立三个测量轴的公式（1）和，我们可以得到探头中心位移和激光干涉仪三个测量位置间的线性变换。假设及其的主坐标系固定在镜台上（如图6所示），探头中心由位置0运动到位置1的平移向量由列矩阵表示，则线性变换由下式给出 其中列矩阵，，表示在主坐标系下相应反射镜的外单位法向量。,和分别表示x，y，z镜面的平面度校准值，,和表示干涉仪的测量位置。 达到排除人为不确定度对校准不确定度的影响校准方法基于误差分离技术。反射镜平面度的校准使用人为设定的一个平面和一条直线。垂直度的校准方法同样基于误差分离技术。人为设定四个被侧面的四个方向。并对几何校准方法中各个测量不确定度的扩展进行了研究。可以看出，Z轴的单向几何校准不确定度小于6nm。沿X轴和Y轴的单向几何校准不确定度小于8nm。测量体积内几何校准的不确定度小于14nm。 6.总结 我们可以得出这样的结论，重要的原则的精密机械设计，我们开发出了一种新的坐标测量机