实验3扫描电镜的结构、原理及其操作使用.PDFVIP

实验 3 扫描电镜的结构、原理及其操作使用 一、实验 目的 1.了解扫描电镜的工作原理及构造。 2.初步学习 Sirion200 场发射扫描电镜的操作方法。 3.利用二次电子像对断口形貌进行观察。 二、扫描电镜的构造 扫描电子显微镜 （简称扫描电镜）是目前较先进的一种大型精密分析仪器，它在材料科 院 学 程 学、地质、石油、矿物、半导体及集成电路等方面得到了广泛的应用。其优点是：①景深长、 工 与 图像富有立体感；②图像的放大倍率可在大范围内连续改变，而且分辨率高；③样品制备方 学 科 法简单，可动范围大，便于观察；④样品的辐照损伤及污染程度较小；⑤可实现多功能分析。 料 材 院 图 1 是 Sir