奈米定位技术-国立高雄第一科技大学.ppt

第三章 奈米定位、量測與製造 3.1 前言 積體電路 光纖 國內產業之研發方向 3.2 奈米定位(1/2) 奈米定位(2/2) 定位系統的構成要素 感測器的種類 奈米定位技術上的應用實例 (1/5)壓電致動器 耦合式的致動器 壓電的缺點 解決方法 壓電方程式 奈米定位技術上的應用實例 (2/5)壓電元件與氣壓缸所構成之致動器 奈米定位技術上的應用實例 (3/5)壓電元件與音圈馬達所構成之致動器 奈米定位技術上的應用實例 (4/5)壓電元件與彈簧所構成之微動檯 移動檯的模型示意圖 作動步驟 奈米定位技術上的應用實例 (5/5)壓電元件與彈簧所構成之自走式微動檯 機構之微型化轉換 3.3 奈米量測 原子力顯微鏡技術 單一分子量測 3.4 奈米製造(1/2) 奈米製造(2/2) 微熱壓成型 (2) 微射出成型 3.5 工程產業實例 * * 3.1 前言 3.2 奈米定位 3.3 奈米量測 3.4 奈米製造 3.5 工程產業實例 奈米，這個只有十億分之一米大小的單元，實現了元件微小化的理想，而奈米科技，不僅是目前電子與資訊產業技術急於突破的關鍵技術，甚至對材料、光電、生物、醫療也將帶來前所未有的技術革命。奈米工程技術，是二十一世紀產業革命動力，其匯集力學、電學、光學、材料、化工、製造、量測、生醫工程、微機電技術等結合起來，使製程或產品尺寸控制在100 nm到0.1 n