现代测试技术-综合评价范例.ppt

图像分辩能力：信号来源区域、放大倍数、分辨率； 成像原理：图像获得方法、变倍操作、分析尺度范围； 图像分析方法：图像分类、衬度原理、图像与实空间对应； 特殊功能：晶体结构分析；三维空间定量；化学元素微区分析功能；加工工具； 显微分析技术—SEM、 EPA 、 TEM、 SPM 检出限：表面灵敏度；体相灵敏度； 分析空间：横向分辨率；纵向分辨率； 分析基本原理：检测的物理量；定性、定量 分析依据； 图谱解析方法：纵坐标、横坐标、峰值物理意义；试样要求及适应领域：试样状态；要求；制备方法；标准样品； 表面分析技术—XPS、AES、 SIMS、LEED、RHED、 LR、IR 固体表面（层） XRF EPMA SIMS XPS AES ISS TXRF H离子＜H电子＜HX光子 表面（层）组分分析谱仪探测区域比较 俄歇电子能谱 X射线光电子能谱 离子散射谱 次级离子质谱 电子探针 全反射X射线荧光光谱 表面元素组成 表面元素化学态 元素在表面的横向分布 元素在表层的纵向分布 表面化合物及分子结构 检测全部元素 表面（层）组分分析谱仪性能比较 微区分析技术主要发展途径：激发源的精确控制—电子束扫描、控制光阑；DXRF ＞DXPS ＞DEPMA ＞DAES（SAM）； 微样分析技术主要发展途径：全反射技术、表面增强技术；痕量及超痕量分析—IR、TXRF、RAMAN； 现代分析谱仪技术发展状况 ???????????????????????????????????????????????? 線分析の条件設定 毛细管技术：微量样品及对空气敏感的样品→将其置于直径为 0.3 mm等尺寸的玻璃毛细管中。当高强度的X光束照射到毛细管样品上时，相对于常规的平板状样品来说，随毛细管自转的样品的所有的晶粒均贡献衍射信息。 微区分析技术：探测小到50微米的微小区域的衍射信息；全反射准直器及最小准直器技术；用XYZ三轴自动样品平台和激光/视频对光系统使样品对光及定位非常简单 二维探测器技术；X射线衍射强度极低→一般仅有少数几个晶粒对散射有贡献—得拜环不连贯；二维探测器可探测到不均匀衍射斑或整个得拜环，沿得拜环对强度数据进行积分可有效地修正这些因素的影响，获得精确的衍射图象，从而为进一步的分析提供准确的数据； XRD微量/微区样品分析技术 概述 （3 学时） X射线衍射分析 （6 + 6 学时） 热分析、色谱、红外光谱 （3 学时） 原子发射、原子吸收、荧光光谱（3 学时） 热分析、原子吸收、压汞、等温吸附实验（3 学时） 已经讲授的内容及学时安排 现代分析测试技术综合评价 （3 学时） 超显微分析技术及SEM实验 （3 + 3 学时） 成分分析技术及EDX、WDX实验 （3 + 3 学时） 结构分析技术及TEM实验（3 + 3 学时） 讲授内容及课时安排 现代仪器分析实验与技术 陈培榕等 清华大学出版社 纳米材料分析 黄惠忠等 化学工业出版社 表面分析 华中一等 复旦大学出版社 表面分析技术 陆家和等 电子工业出版社 扫描隧道显微术及应用 白春礼等 上海科技出版社 材料分析测试技术 周 玉等 哈尔滨工业大学出版社 仪器分析 邓 勃等 清华大学出版社 分子光谱学专论 吴征铠等 山东科技大学出版社 课程选用教材及参考书籍 http://www.jeol.co.jp/ http://www.ntmdt.ru/ http://www.shimadzu.co.jp/ 开放实验室、理化检测中心 科技期刊（光谱分析、质谱分析、电子显微学报及专业期刊） 网上资源利用 第一讲 现代分析测试技术综合评价 现代分析测试仪器基本特征 现代分析测试技术综合评价 利用电子束、离子 束、光子束或中性 粒子等为探束 气、液、固态样品 （微量及痕量） 图像、谱图、数据 及综合报告 现代分析测试仪器基本工作模式 表面或 体相 — — — — — — — — — — 电子 电场 离子 热 光子 声波 分子 磁场 信号来源区域 图像分辨率 分析仪器灵敏度 表面检测 表层检测 体相检测 微区检测 微米级 纳米级 原子级 体相检出限低 体相检出限中 体相检出限高 XPS AES SPM SIMS ISS LEED SEM EPA XRF RHEED TEM XRD MS IR LR AAS ICP-AES EPA AES XPS SPM TEM FIM SEM AES FEM EPA XPS XRF AAS ICP-AES EPA XRF LR XRD IR MS 常用分析测试技术及特性 仪器的必需配置 分析方法原理 仪器结构及发展 重要实验技术 联用技术