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设备模块培训资料　　　　　　　－微波/高频电源系统 培训基本内容 目录 关于微波 微波的产生 关于等离子体 随着温度的升高，一般物质依次表现为固体、液体和气体。它们统称为物质的三态。 当气体的温度进一步升高时，其中许多，甚至全部分子或原子将由于激烈的相互碰撞而离解为电子和正离子。这时物质将进入一种新的状态，即主要由电子和正离子（或是带正电的核）组成的状态。这种状态的物质叫等离子体。它可以称为物质的第四态。 等离子体的产生 等离子体的应用 　系统结构：微波电源，微波发生器，天线。 等离子槽／微波天线 常见故障 　系统结构：由真空管路系统、气路系统、反应室、压力控制系统、SY型射频功率源、电源供电及控制部分组成 。 等离子刻蚀工艺原理 等离子刻蚀工艺原理 系统主要结构简介 微波控制原理图 SY型射频功率源参数 五、常见故障 　　等离子体刻蚀机是基于真空中的高频激励而产生的辉光放电将四氟化碳中的氟离子电离出来从而获得化学活性微粒与被刻蚀材料起化学反应产生辉发性物质进行刻蚀的。同时为了保证氟离子的浓度和刻蚀速度必须加入一定比例的氧气生成二氧化碳。 首先，母体分子CF4在高能量的电子的碰撞作用下分解成多种中性基团或离子。 CF4→CF3，CF2，CF，C，F 其次，这些活性粒子由于扩散或者在电场作用下到达SiO2表面，并在表面上发生化学反应。 　　 反应室 高频电源