XR306-RoHS专用X射线荧光能谱仪.doc

XR306 - RoHS专用X射线荧光能谱仪 操作员手册 前言： XR306是专门针对欧盟RoHS指令的专用X射线荧光能谱仪，Amptek公司提供的X-123 集成Si-PIN高能量分辨率X射线正比探测器，它具有高能量分辨率、高信噪比的特点，在同类产品中具有检出限低、测量可信性高、系统可扩充性好、整体可靠性高等优点，作为相关企业进行快速筛选的最好工具，是成功应对欧盟RoHS指令的最佳选择。 第一章：XR306介绍 XR306由仪器主机和一台商用PC构成，主机和PC之间由USB连接进行数据通讯。 图1：XR306主机结构示意图 X光管发射原级X射线，经过滤光片和准直器后照射在样品上，样品中所含有的各种元素被原级X射线激发，放出代表所含有的元素的特征X射线（称为荧光X射线），用集成Si-PIN高能量分辨率X射线正比探测器X-123检测，得到包含所有元素特征X射线的能谱图，对谱图进行解析以后得到各元素相关的谱线强度，即可对元素的浓度进行定量分析。 高压电源用来给X光管供电，以使其能发出X射线。X光管高压电源启停以及管电压、管电流的控制都是PC通过MP411接口卡进行控制，其间管电压、管电流的控制和反馈信号经由“驱动/转接板”对信号进行了一些调理。 最多六种滤光片安装在由驱动马达驱动的滤片转盘上,测量不同的元素时系统会自动更换滤光片。PC通过MP411接口卡(TTL电平信号经“驱动/转接板”驱动继电器)控制驱动马达的运转和停止，通过MP411接口卡读取由四个光电开关编码的转盘位置。 130万像素CCD摄像头来观察样品放置位置。X-123高分辨率正比探测器用来检测样品发出的荧光X射线。MP411接口板、X-123探测器和CCD摄像头都是USB设备，都连接到USB-HUB上，USB-HUB连接到商用PC机。 第二章：基本原理简介 第一节：X光管的基本原理 图2：X光管原理图 高压电源给阴极和阳极之间加上高压电场，而灯丝在加热后会发射热电子，热电子被高压电场加速获得很高的动能，在撞击到阳极靶材时大约有1%的能量转换为X射线并穿透铍窗发射出来(另外大部分能量以热能的形式传到阳极上，使阳极温度升高)。 图3：轫致辐射原理图 轫致辐射发射出的X射线的能量是连续的，形成连续的X射线发射谱[图4]。轫致辐射谱具有以下规律：1）轫致辐射存在一个与所加管压有关的最小波长?0, ?0=12.398/HV(kV)，对应被加速电子的最高能量，波长单位是?，1?=10-10米。最小波长对应的X射线光子的能 图四 轫致辐射连续谱 量为将电子的全部动能都转化为X射线光子的能量，不可能再有更高能量的光子产生了。而在强度与波长的关系曲线中可以看到一个相对强度最高点?max，?max≈3?0 。最小波长?0与高压成反比，与管流和阳极靶材无关。在管压和靶材固定时，相对强度与管流成正比关系。原子序数越高的靶材产生的相对强度越高。 了解轫致辐射的这些特性对我们了解和调试仪器非常重要。 X光管产生的原级X射线谱中除了轫致辐射以外还存在靶材的特征X射线谱，轫致辐射是连续谱，有很宽的分布范围，而特征X射线谱却是分立谱，通常由若干条看都很窄的谱线组成，下面讲解特征X射线产生的机理，这也是X射线荧光的产生机理，需要有非常清楚的了解。 我们知道，物质是由原子构成的。原子是由原子核和围绕原子核运转的电子构成的。原子核是由质子和中子构成的，原子核的内部结构还是物理学家研究的课题，我们只需要知道原子核是很小的（相对于原子的尺度)，致密的，带有与质子数(等于原子序数)相同数目的正电荷就可以了。而核外电子的结构是我们研究X射线相关问题需要详细了解的。 核外电子的能级结构，核外电子按能级排列，从内到外分成K层L层M层N层，