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- 2017-03-13 发布于湖北
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探头维修,维护与保养
探头维修,维护与保养
以单探头为例
探头维护与保养
探头
真空连接
电缆
连接法兰
BNC接头
以单探头为例
常见问题
1 水温不稳, 2 保养不良, 3 接地不良,4 硬件故障
可造成下列现象
1。ACTIVITY值低
2 。镀膜速率不稳定
3 。晶片寿命短
4 。新晶片实效
首先检查冷却水
? 保证冷却水足够流量,
水
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