aCNxH薄膜的摩擦学性能研究.pdfVIP

摹青届奎一袁再工毫手术鲁蕾 兰州2∞‘年8月 a-CNxH薄膜的摩擦学性能研究 郝俊英1一，刘维民1 (1．中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室，甘肃 兰州730()00；2．中国科学院北京研究生院，北京looos4) 氮化碳薄膜(Carbonnitride劬ns)是以理论预言为基础、自然界尚未发现的人工合成材料之一． 由于其具有很多优异的性能而备受材料学家的青睐．非晶氮化碳(a-CNxH)薄膜是其中的一种．1990 年，Muller首次报道了a-CNxH薄膜具有高的抗磨性能和极低的摩擦系数．随后十几年。人们开始对 其摩擦学性能进行研究．然而，由于a-．CN,,H薄膜对制备工艺和沉积条件的依赖性，以及摩擦试验 探讨了不同对偶材料对薄膜摩擦性能的影响． 所得a-CNxH薄膜呈金黄色，厚度约为100 些键都是以共价键的形式存在，是典型的非晶含氢氮化碳薄膜． 图1a-CNtH薄膜的AFM形貌相 rim,和单晶硅片的 密，表面光滑、平整，表面均方根粗糙度(Root-mean-square，简称RMS)约为O．25 粗糙度(RMS在0．15．0．20nm之间)相当． 图2给出了a-CNxH薄膜与不同对偶材料对摩时的摩擦系数随时间全程变化曲线．由图可见， 对偶材料对a-CN．H薄膜的摩擦学行为(包括摩擦系数和磨损寿命府在较大的影响．就摩擦系数而 言，薄膜和si3N4球对摩时的摩擦系数}最小并且最稳定，约为0．03；和A如球对摩时的i次之，约 为0．07；和GCrl5钢球对摩时的}最大，而目摩擦系数起伏较尢非常不稳定，这也许和对摩的两 种摩擦面的硬度以及其相互转移有关．此外，还可看出，薄膜与SbN,和A1203球对摩时，薄膜的摩 擦学行为经历了磨合阶段和稳定阶段，而且薄膜和A1203对摩时引起的磨合阶段较长．而薄膜和 GCrl5钢球对摩时，几乎不经过磨合彰煅．就薄膜的摩擦寿命来说薄膜和GCrl5钢球对摩时的磨 损寿命最长，和A1203球对摩时次之，和si3N4球对摩时的摩擦寿命最短．从一定角度讲薄膜的磨 损寿命反映了薄膜的磨损率情况，即磨损率较大的材料其磨损寿命较短，反之亦然． 第六届奎啊表面工程学术奢证 兰州 2006年8月 Numb口ofcydes 图2与不同对偶对摩时a-CNxH薄膜的摩擦系数随时间的变化 由于对偶材料的不同，对薄膜的摩擦磨损机制也不尽相同．当Si3N4和A1203球与薄膜对靡时。 薄膜只发生轻微的擦伤磨损。而无粘着和磨粒磨损现象，摩擦系数低而稳定．但是由于它们的硬度 相对较大，其对薄膜造成的磨损也相对较大，而且有可能部分薄膜向对偶球转移．而当薄膜与 GCrl5钢球对摩时，由于这种对摩材料的硬度相对较小，它会在摩擦力和摩擦热的作用下发生变形 和粘着，并向薄膜摩擦表面转移，使摩擦接触点由薄膜与金属的接触变为金属与金属的接触。同时 转移的金属元素起到磨料的作用，从而使薄膜的摩擦系数升高且不稳定。