AutoCAD数据到掩模版图数据的转换及其速度优化.pdf

2005年12月 第十三届全国电子束·离子束·光子束学术年套 湖南·长沙 汤跃科李金儒陈宝钦 (中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室，北京，100029) 摘要：微光刻技术已被广泛地应用于微细加工的各个领域，通常其他领域技术人员没有采用集成 造用的版图数据，需要进行数据格式转换，而常用的数据转换软件存在着可靠性不强以及转换速度慢 的缺点，因而，有必要对其进行深入的研究。本文在详细分析AutoCAD生成的图形交换格式文件(DXF 文件)以及标准的掩模版图数据文件ElF格式文件的基础上，用VisualC++编写了图形界面的转换软 件。然后根据转换实验，发现DXF文件输入和数据的初始化是程序运行速度的瓶颈和出错的多发地 带，并针对此做出了改进。实验证明：改进输入与初始化算法能极大的提高转换效率。 关键词：数据转换，DXF文件，ElF文件，掩模版图 一．引言 微光刻技术是超大规模集成电路制造中的一项关键技术。在近兰十年来，微光刻技术获得了长足 的进步，微光刻技术不仅推动了集成电路制造业的迅速发展，也为许多新兴学科(如纳米技术，微机电 系统MEMS，微光学元件等)领域提供了强大的微细加工手段Ill。 非IC领域的研究者在利用微光刻技术进行研究时，往往倾向于使用较为熟悉或者绘图功能较为 助设计(CAD)软件，具有强大的图形绘制与编辑功能。其普及面非常大，对于非lc领域的研究者和工 件：DWG文件和DXF文件，其中DXF是DataFormat的缩写，即数据交换格式，是一种采用 eXchange ASCII码的数据文件，可以用文字编辑器打开阅读。 可以用文字编辑器打开阅读，便于转换程序的调试和测试，所以本文是以CIF格式作为数据转换的目 标，而GDSll格式文件可以用成熟的商用软件从CIF转换而成。 二．基本转换方法 1．DXF文件简介 DXF文件最基础的组成单位是组码及关联值对。组码表明其后的值的类型，组码与值各占一行。 库的版本号和系统变量，EN邢ES段包含图形中的图形对象(图元)，其中包括块参照(插入图元)， (No6027601960376020；602360i0)支持 一391— 2005年12月 第十三届全国电子束·离子束·光子束学术年会 湖南·长沙 BLOCKS段包含每个块参照的块定义和图形图元。 AutoCAD中的多段线和优化多段线中可以包含弧线。AutoCAD中通过定义弧线的起点，端点和凸 度(Bulge)束描述弧线。其中凸度定义为弧线所对张角的四分之一角度的正切值，之所以这样定义是为 了把360度内的张角都转换为正值，而凸度的正负则用来表示圆弧的顺时针和逆时针。凸度为正时表 示从起点到端点的圆弧为逆时针，为负时表示顺时针。当凸度值不存在时，也即凸度为0，表示直线段。 限于篇幅，在这里不详细介绍DXF文件所有组码的意义，我们将另文做详细剖析，如需了解。可以参 考AubCAD开发者手册晰。 2．CIF文件简介” CIF采用右手坐标系：x轴正向向右，Y轴正向向上，基本测量单位为0．01微米。在CIF文件中． 有符号定义，调用，几何原始体和图层指定四类命令。在文件末尾加关键字E表示文件结束。符号以 DS nnn[ab】；开始，以DF；结束，其中nan为符号数。a与b(都为整数)为定标因子，a／b即为定标系数。 定标系数的引进是为了方便坐标值的表示，符号内的整数坐标和距离都要乘以定标系数(a／b)才能得 到实际数值。 符号中可以包含若干个几何原始体(或者称基本图素)。几何原始体可以总共有四类：矩形，多边 形，圆和连线。矩形命令用B开头，后接两个边长和中心坐标。多边形命令用P开头，后接各个顶点的 坐标。圆命令用R开头，后接直径和圆心坐标。设定宽度连线命令以w开头，后接连线宽度和中心线 路径坐标。 除几何原始体外，CIF还有调用(例化)命令，图层命令和符号名称定义的扩展。调用(例化)命令 的格式为C 的格式为Lshortname；shortname为l一4字符的图层名。符号名称定义的扩展，其格式为9celiname； cellname为L--Edit中的单元名称。 3．转换方法 Au