SOI高温器件及其在汽车电子等领域中的应用3.PDFVIP

物理学和经济建设 SOI 高温器件及其在汽车电子等领域中的应用 刘彦松 　多新中 　黄继颇 　张 　苗 　王连卫 　林成鲁 ( 中国科学院上海冶金研究所　信息功能材料国家重点实验室　上海　200050) 摘 　要 　　石油钻井、航空航天、汽车等工业领域急需能在高温下工作的器件和电路. SOI( silicon - on - Insulator) 技术在高温器件和电路方面有着广泛的应用前景. 文章简要介绍了 SOI 技术应用于制造高温 器件和电路方面的进展情况. 关键词 　　SOI ,高温器件和电路 SOI HIGH TEMPERATURE DEVICES AND THEIR APPL ICATIONS IN AUTOMOBIL E EL ECTRONICS Liu Yansong 　Duo Xinzhong 　Huang Jipo 　Zhang Miao 　Wang Lianwei 　Lin Chenglu ( State Key L aboratory of Functional M aterials f or Inf ormatics , S hanghai Instit ute of Metallurgy , The Chinese Academy of Sciences , S hanghai 　200050) Abstract 　　High - temperature devices and circuits are in urgent need in the well logging , aerospace and automotive industries. Silicon - on - insulator ( SOI) technology holds great promise in the fabrication of high - temperature devices and circuits. Current developments in the application of SOI technology to this field are reviewed. Key words 　　SOI ,high - temperature devices and circuits 的问题. 1 　引言 2 　高温电子的应用 1998 年 8 月 3 日,美国 IBM 公司在纽约 East Fishkill 宣布在世界上首次利用 SOI 技术 石油钻井、航空航天、汽车等领域技术的发 成功地研制出了高速、低功耗、高可靠的微电子 展 ,急需能在恶劣环境中 ,特别是能在高温下工 主流产品 ———微处理器等高性能芯片. IBM 公 作的器件和电路. 如表 1 所示 ,不同的工业部门 司的这一举动震惊了国际微电子界 ,也使 SOI 对温度的要求不尽相同 ,但它们普遍要求器件 技术成为众人瞩目的焦点. SOI 因其独特的结 和电路能工作在 200 —300 ℃的高温环境中. 由 构 ,具有体硅不可比拟的优势 ,可广泛应用于低 于常规的硅基集成电路不能在 200 ℃以上的环 压、低功耗器件与电路 ,高温器件与电路 ,高速 境中工作 ,所以只能将在高温环境中的传感器 电路,抗辐照电路的生产制造. 本文将主要介绍 的信号通过导线传输到远处的处理器或采用复 SOI 技术在高温器件、电路方面的应用情况以 　国家自然科学基金和国防军工重点预研资助项目 及进一步改善 SOI 高温器件、电路性能所面临