第五章单晶矽及多晶矽太阳能电池-2.ppt

第五章　單晶矽及多晶矽太陽能電池　P Chapter 5 單晶矽及多晶矽太陽能電池　 5-1 單晶矽及多晶矽太陽能電池的發展及其演進 5-2 單晶矽及多晶矽太陽能電池的基本結構及其特 性 5-3 單晶矽及多晶矽太陽能電池的製程技術 多晶矽的製作方法，乃是將自然的矽砂，利用電爐還原成純度為98.0% 以上的冶金級金屬矽，其次地將冶金級金屬矽製作成高純度矽烷系列氣體 ( 如三氯矽烷或矽烷 )，再利用還原以及熱分解法，將高純度矽烷系列氣體，製作出高純度的多晶矽顆粒。 單晶矽的製作方法，則是將多晶矽顆粒利用柴可夫斯基長晶法 (Czochralski Crystal Growth, CZ) 或浮動帶熔融長晶法 (Floating Zone Crystal Growth, FZ)，成長出圓柱狀的單晶棒錠，其次地利用內圓周型的薄刀鋸，切割成一片一片的圓形晶圓片；加工後的矽晶圓片存有應變及污染，因而使用的氫氟酸 (HF) 與硝酸 (HNO3) 等所配成的混合酸，進行矽晶圓片表面侵蝕及洗淨。 日本日立製作所公司，開發出兩面受光型太陽能電池及其模組 (Bifacial Photovoltaic Solar Cell and Module)，所使用的材料是單晶矽晶圓片； 所謂的表裏兩面意指太陽能電池胞的前表面或正表面 (Front Surface) 以及其背表面或裏表面 (Rear Surfa