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MEMS微悬臂梁在冲击下的粘附失效预测.pdf
第19卷第5期 传感技术学报 V01．19No．5
CHINESE OFSENSORSANDACIUATORS
2006年10月 JOURNAL 0ct．2006
Stiction Predictionfor Micro-CantileversunderShock
Reliability Polysilicon
wANG 2
2，SⅢQian
Pei—yao“，TANGJi扩yin91，ⅢCunoian91，ENYun一知i
(1．KeyLaboratoryofMEMSMinistryofEducation，SoutheastUniversity，Nanjing 510610，China)
粤
Abstract：TheofMEMSisa foritscommercial micro-
reliability keyproblem application．Thepolysilicon
cantileveriSabasicstructureinMEMS．Mechanismofstictionfailureof micro-
macro-mechanicalandre—
cantileverisintroducedandastiction modelbasedon
reliabilityprediction theory
on
methodis theeffectofmicro-cantileverdimensionandenvironment
liability presented．Finally humidity
is
reliabilityanalyzed．
words：MEMS；Micro-cantilever；stictionfailure；reliability
Key
EEACC：0170N
MEMS微悬臂梁在冲击下的粘附失效预测
王佩瑶¨，唐洁影1，余存江1，恩云飞2，师谦2
Mechanical
摘 要：MEMS(Micro-electronics
System)的可靠性已经成为它能否成功地实现商品化的一个重要问题．多晶硅
微悬臂梁是MEMS中的一个基本结构，阐述了多晶硅微悬臂梁的粘附失效机理，并利用宏观机械中的理论和可靠性分析方法
对表面微加工的多晶硅微悬臂梁的粘附可靠性进行预测，建立了在外载荷下的粘附可靠度预测模型，并利用该模型具体分析
了微梁尺寸及外界湿度对可靠度的影响．
关键词：MEMS；微悬臂梁；粘附失效；可靠度
中图分类号：TN406 文献标识码：A
悬臂梁是MEMS器件中常见的可动结构，广泛
应用于RF开关、光开关、谐振器、传感器等．由于 会受到不同程度的冲击和碰撞引起粘附，因此加速
MEMS器件中的悬臂梁尺寸很小，梁与衬底间距仅力是影响器件工作失效机制的一个重要因素．由于
为零点几至几个微米，而且长度远大于厚度，在使用 悬臂梁的粘附现象受到器件尺寸、工艺条件、表面形
过程中结构刚度降低，在外界力的作用下很容易使
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