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MEMS显微干涉测量系统中相移器性能的研究.pdf
V01．19
第19卷第5期 传感技术学报 No．5
2006年10月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Oct．2006
onthePerformanceofPhase-ShifterintheMEMS
Study
Interferometric
Microscopic MeasuringSystem
GUO
Tong+，HUChun～guang，CHENJin—ping，FUXing，HUXiao—tang
and 300072，China)
ofPrecisionMeasuringTechnologyInstruments，TianjinUniversity，Tia巧in
(StateKeyLaboratory
isa measurementmethodusedin surfacechar—
Abstract：Microscopicinterferometrypopular highaccuracy
the shifter an roleinthe ofthe
acterization，wherephase performanceplaysimportant accuracysystem．
ThemainerrorsourcesofthePZT shifter and are
phase including creepanalyzed．
hysteresis。nonlinearity
The shifteris aredoneonthe44nm standardwhichiscali—
openloopphase calibrated．Experiments step
bratedNISTinthe andclose showthemeasurementinthesetwocondi—
by openloop loop．These accuracy
of10measurementsare nmand am standard
tions．Meanvalues 41．34 43．24 respectively，the
nmand1nm
valuesare2．08 0．4 respectively．
words：Microelectromechanical shifter；Error
Key systems(MEMS)；Microscopicinteferometry；Phaseanalysis
EEACC：7230；7310H
MEMS显微干涉测量系统中相移器性能的研究
郭 彤。，胡春光，陈津平，傅 星，胡小唐
(天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津300072)
摘 要：显微干涉测量方法是一种被广泛使用的高精度表面测量方法，其中相移器的性能直接影响到系统测量的精度．对
MEMS测量系统中使用的压电陶瓷相移器的主要误差源，包括迟滞、非线性
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