第6章压电式传感器-医学传感器导论.ppt

第6章 压电式传感器 第一节 压电效应 一、压电效应 某些电介质，当沿着一定方向对其施力而使它变形时，其内部就产生极化现象，同时在它的两个表面上便产生符号相反的电荷，当外力去掉后，其又重新恢复到不带电状态，这种现象称压电效应。 当作用力方向改变时，电荷的极性也随之改变。有时人们把这种机械能转为电能的现象，称为“正压电效应”。相反，当在电介质极化方向施加电场，这些电介质也会产生变形，这种现象称为“逆压电效应”（电致伸缩效应）。 二、石英晶体的压电效应 3.石英具有压电效应的原因： 对于石英晶体，每一个晶体单元中具有3个硅离子Si4+和6个氧离子O2-，其中氧离子O2-是成对结合的，这样3个硅离子和3对氧离子构成六边形排列。 目前使用较多的压电陶瓷材料是锆钛酸铅（PZT系列），它有较高的压电系数和较高的工作温度。 ◆铌镁酸铅是20世纪60年代发展起来的压电陶瓷。具有极高的压电系数和较高的工作温度，而且能承受较高的压力。 常用压电材料的性能见书中表6-1。 第二节 压电传感器的等效电路和测量电路 一、等效电路 由压电元件的工作原理可知，压电式传感器可以看作一个电荷发生器。同时，它也是一个电容器，晶体上聚集等量的正负电荷的两表面相当于电容的两个极板，极板间物质等效于一种介质，则其电容量为: 式中： A——压电片的面积； d——压电片的厚度； ——空气介电常数（其值为8.86× /cm）； ——压电材料的相对介电常数。 压电传感器灵敏度 2. 电荷放大器 二、PVDF压电传感器（聚偏氟乙烯） 三、谐振式石英晶体温度传感器 3.PVDF压电传感器应用实例 用于检测婴儿呼吸暂停 Page ? * 医学仪器教研室 概述 压电式传感器的工作原理是基于某些介质材料的压电效应，是典型的有源传感器。 当某些材料受力作用而变形时，其表面会有电荷产生，从而实现非电量测量。 压电式传感器具有体积小，重量轻，工作频带宽、灵敏度高、工作可靠、测量范围广等特点，因此在各种动态力、 机械冲击与振动的测量，以及声学、医学、力学、宇航等方面都得到了非常广泛的应用。 X轴：电轴或1轴； Y轴：机械轴或2轴； Z轴：光轴或3轴。 “纵向压电效应”：沿电轴（X轴）方向的力作用下产生电荷 “横向压电效应”：沿机械轴（Y轴）方向的力作用下产生电荷 在光轴（Z轴）方向时则不产生压电效应。 当沿电轴方向加作用力Fx时，则在与电轴垂直的平面上产生电荷 d11——石英体在x轴方向承受机械应力时的压电系数（C/N） 作用力是沿着机械轴方向电荷仍在与X轴垂直的平面 d12——石英体在y轴方向承受机械应力时的压电系数（C/N） 当晶体在x轴方向上受到压力时，晶体沿x轴方向产生压缩变 形，硅离子Si4+和氧离子O2-产生相对位移，如图。此时，正负电荷中心不再重合，电偶极距在x轴方向上的分量小于0，在y轴和z轴方向上分量等于0，即： 当晶体在x轴方向上受到拉力时，晶体沿x轴方向产生压缩变形，硅离子Si4+和氧离子O2-产生相对位移，如图。电偶极距在x轴、y轴和z轴方向上分量分别为： 图（a）是在X轴方向受压力，图（b）是在X轴方向受拉力， 图（c）是在Y轴方向受压力，图（d）是在Y轴方向受拉力。 对于y轴，受压力时，相当于x轴受拉力；相反，当y轴受到拉力时，相当于x轴受到压力。 对于z轴，在受到外力时，晶体在x轴方向和y轴方向上的形变相同，正负电荷中心始终重合，电偶极距再x轴、y轴和z轴方向的分量均为0。 一种天然晶体，压电系数d11＝2.31×10－12C/N； 莫氏硬度为7、熔点为1750℃、膨胀系数仅为钢的1/30。 优点： 转换精度高、线性范围宽、重复性好、固有频率高、动态特性好、工作温度高达550℃（压电系数不随温度变化而改变）、工作湿度高达100%、稳定性好。 2. 压电陶瓷的压电效应 人工制造的多晶体，压电机理与压电晶体不同。 压电陶瓷的极化 压电陶瓷片内束缚电荷与电极上吸附的自由电荷示意图 自由电荷与陶瓷片内的束缚电荷符合相反而数值相等， 它起着屏蔽和抵消陶瓷片内极化强度对外的作用， 因此陶瓷片对外不表现极性。 压电陶瓷片上加上一个与极化反向平行的外力，陶瓷片将产生压缩变形，原来吸附在极板上的自由电荷，一部分被释放而出现放电现象。 当压力撤消后，陶瓷片恢复原状，片内的正、负电荷之间的距离变大，极化强度也变大，因此电极上又吸附部分自由电荷而出现充电现象。 放电电荷的多少与外力的大小成比例关系 常见压电陶瓷 ： （1）钛酸钡（BaTiO3）压电陶瓷 具有较高的压电系数和介电常数，机械强度不如石英。 （2）锆钛酸铅Pb（Zr·Ti）O3系压电陶瓷（PZT） 压电系数较高，各项机