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第五章 电容传感器 本章学习电容传感器的原理、检测电路及应用，同时还涉及压力、液位及流量的测量方法。 电容式传感器的灵敏度及非线性 差动平板式电容传感器结构 体积流量qV=Av，单位为m3/h或L/s； 质量流量qm=?Av，单位为t/h或kg/s。 补充：运算放大器式电路 由于运算放大器的放大倍数非常大，而且输入阻抗Zi很高，运算放大器的这一特点可以作为电容式传感器的比较理想的测量电路。下图是运算放大器式电路原理图，图中Cx为电容式传感器电容，Ui是交流电源电压， Uo是输出信号电压，Σ是虚地点。由运算放大器工作原理可得： . . 如果传感器是一只平板电容，则Cx=εS/d，代入上式，可得： 式中“-”号表示输出电压Uo的相位与电源电压反相。说明运算放大器的输出电压与极板间距离d成线性关系。运算放大器式电路虽解决了单个变极板间距离式电容传感器的非线性问题，但要求Zi及放大倍数足够大。为保证仪器精度，还要求电源电压Ui的幅值和固定电容C值稳定。 . . 运算放大器式电路原理图 第三节 电容式传感器的应用 电容器的容量受三个因素影响，即：极距x、相对面积A和极间介电常数?。固定其中两个变量，电容量C就是另一个变量的一元函数。只要想办法将被测非电量转换成极距或者面积、介电常数的变化，就可以通过测量电容量这个电参数来达到非电量电测的目的。 一、电容式液位计 聚四氟乙烯外套 液位限位传感器与液位变送器的区别在于：它不给出模拟量，而是给出开关量。当液位到达设定值时，它输出低电平。但也可以选择输出为高电平的型号。 设定按钮 智能液位限位传感器 智能化液位传感器的设定方法十分简单： 用手指压住设定按钮，当液位达到设定值时，放开按钮，智能仪器就记住该设定。正常使用时，当水位高于该点后，即可发出报警信号和控制信号。 超限灯 正常工作指示灯 电源指示灯 二、硅微加工加速度传感器 图示加速度传感器以微细加工技术为基础，既能测量交变加速度(振动)，也可测量惯性力或重力加速度。其工作电压为2.7～5.25V，加速度测量范围为数个g，可输出与加速度成正比的电压，也可输出占空比正比于加速度的PWM脉冲。 微加工三轴加速度传感器技术指标 灵敏度：500mV/g； 量程：10g； 频率范围：0.5-2000Hz； 装谐振点：8kHz； 分辨力：0.00004g； 重量：200g； 安装螺纹：M5mm； 线性误差：≤1%。 硅微加工加速度传感器原理 1-加速度测试单元 2-信号处理电路 3-衬底 4-底层多晶硅(下电极) 5-多晶硅悬臂梁 6-顶层多晶硅(上电极) 利用微电子加工技术，可以将一块多晶硅加工成多层结构。在硅衬底上制造出三个多晶硅电极，组成差动电容C 1、C 2。图中的底层多晶硅和顶层多晶硅固定不动。中间层多晶硅是一个可以上下微动的振动片。其左端固定在衬底上，所以相当于悬臂梁。 当它感受到上下振动时，C 1、C 2呈差动变化。与加速度测试单元封装在同一壳体中的信号处理电路将ΔC 转换成直流输出电压。它的激励源也做在同一壳体内，所以集成度很高。由于硅的弹性滞后很小，且悬臂梁的质量很轻，所以频率响应可达1kHz以上，允许加速度范围可达10g 以上。 如果在壳体内的三个相互垂直方向安装三个加速度传感器，就构成测量三维方向的振动或加速度。 加速度传感器在汽车中的应用 加速度传感器装在轿车上，可以作为碰撞传感器。当测得的负加速度值超过设定值时, 微处理器据此判断发生了碰撞，于是就启动轿车前部的折叠式安全气囊迅速充气而膨胀，托住驾驶员及前排乘员的胸部和头部。 传感器安装位置 利用加速度传感器实现 延时起爆的钻地炸弹 三、湿敏电容 利用具有很大吸湿性的绝缘材料作为电容传感器的介质，在其两侧面镀上多孔性电极。当相对湿度增大时，吸湿性介质吸收空气中的水蒸气，使两块电极之间的介质相对介电常数大为增加(水的相对介电常数为80、空气的相对介电常数为2)，所以电容量增大。 吸水高分子薄膜 湿敏电容传感器的安装及使用 在野外的使用 带报警器的家庭使用型 多孔性氧化铝湿敏电容传感器外形 机械式油量表 在油箱内，装有类似卫生间水箱里的浮球，通过杠杆带动电阻丝式圆盘电位器，由电流表指示出油量。 四、电容式油量表 电容式油量表 当油箱中注满油时，液位上升，指针停留在转角为?m处。当油箱中的油位降低时，电容传感器的电容量Cx减小，电桥失去平衡，伺服电动机反转，指针逆时针偏转(示值减小)，同时带动RP的滑动臂移动。当RP阻值达到一定值时，电桥又达到新的平衡状