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第 卷 第 期 光学 精密工程
１５ ６
Ｖｏｌ．１５ Ｎｏ．６
Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ
年 月 ｐ ｇ ｇ
２００７ ６ Ｊｕｎ．２００７
文章编号 （ ）
１００４９２４Ｘ２００７０６０８９４０９
微细加工中的微型铣床、微刀具
磨损及切削力的实验研究
赵 岩，梁迎春，白清顺，王 波，孙雅洲，陈明君
（哈尔滨工业大学 精密工程研究所，黑龙江 哈尔滨 １５０００１）
摘要：由于微机电系统（ ， ）在微小零件加工中存在不足，微细铣削加工作为一项
ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｓｔｅｍ ＭＥＭＳ
ｙ
补充技术正在日益受到人们的重视。介绍了研制的微型精密三轴联动立式铣床（ ）的系统构
３００ｍｍ×３００ｍｍ×２９０ｍｍ
成，开发了中文控制软件并集成了视频采集系统，此设备在薄膜型工件（膜厚 ６５ ｍ）的微槽加工中取得了满意的效果
μ
（膜厚方向上材料去除率 ９０．７％，成品率大于 ８０％）。对微径端铣刀进行了力学特性分析，并通过刀具磨损试验分析了
微径硬质合金ＴｉＡ１Ｎ涂层及非涂层铣刀的磨损机理。最后通过槽铣硬铝２Ａ１２的试验研究了切削用量（主轴转速、背吃
刀量和每齿进给量）对微细铣削力的影响，为微细铣削切削机理的深入研究奠定了基础。
关 键 词：微细铣削；微型铣床；刀具磨损；切削力
中图分类号： 文献标识码：
ＴＧ５０１ Ａ
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