一种实验确定微电子器件灵敏体积的方法.pdfVIP

第28卷增刊 高能物理与核物理 v01．28，supp． HIGH 2004年12月 ENERGY AND PHYSICSNUCLEAR PHYSICS Dec．，2004 一种实验确定微电子器件灵敏体积的方法术 路秀琴1’q 刘建成1 郭继宇1 张庆祥2 黄治2 张振龙2 郭刚1 沈东军1 惠宁1 倪嵋楠1 孔福全1 韩建伟2 1(中国原子能科学研究院核物理所北京 102413) 2(中国科学院空间科学与应用研究中心北京100080) 摘要 介绍一种实验确定微电子器件单粒子翻转(sEu)灵敏体积(＆)厚度d的方法．用从低到高 不同能量的重离子辐照微电子器件，测量其SEu截面随离子射程的变化曲线吼。。(r)，用数学计 算从盯。。。(r)和LET(r)函数提取d．利用测得的d和仃。。。(LET)，经过模型计算可得到更精确的空 间SEU率的预言值． 关键词单粒子效应 灵敏体积 重离子 1引言 当入射粒子在该长方六面体中沉积的能量大于临界 能量时引起SEU等事件．由于缺乏灵敏体积的准确 微电子器件受空间辐射引起单粒子翻转(SEU)，信息，通常采用2斗m的厚度，使预估得出不满意的结 锁定(SEL)或烧毁(SEB)统称为单粒子效应(SEE)，它 果．饱和截面的计算结果与实验测量值最好的情况 是威胁航天器及战略武器在轨正常运行和寿命的 也要相差两倍H，2J．器件灵敏层前面的死层厚度也严 重要因素之～．研究空间辐射对微电子器件产生的 重的影响测量和预估的结果．研究从实验上测量灵敏 各种效应以及抗辐射加固措施成为国内外关注的 体积(＆)的实际大小，是精确预估器件空间SEE的 重要课题．地面模拟试验研究是此种研究的一个重 要方面．用高能质子或重离子加速器产生的高能质 不同能量不同入射角度的一系列质子SEU截面来测 子和重离子模拟空间辐射环境，辐照微电子器件或 定＆厚度d和临界电荷．这需要有至少200MeV的高 仪器，测量其SEU，SEL，SEB截面随质子能量或重 能质子加速器．zoutend世刮曾建议用低能低射程的 离子传能线密度(LET)的变化关系曲线，再结合空 7t 重离子来观测器件的．Barakl6J和Eco＆tl8j最近分 间质子和重离子辐照环境以及离子与微电子器件 相互作用模型进行理论计算，预言器件或仪器的空 子在一系列不同能量引起的SEU数据，再用数学方法 间SEU(SEL或SEB)率以及其它相关参数，实现对器件 提取了几个器件的＆和死层厚度．他们的结果表明， 抗辐射性能的评估以及解决抗辐射加固的问题．因而， ＆厚度和上面的覆盖层厚度在不同的器件之间相差 精确的预估SEU(SEL或SEB)率十分重要．过高的预估 很大．他们用测得的参数来预言质子SEU率，使结果得 会增加造价和重量，过低的预估会导致事故发生．要 到大大改善．本文介绍采用低能重离子辐照微电子器 使评估准确，需要两个因素：一是实验数据精确，二是 件来确定其灵敏体积和覆盖层厚度的原理和方法． 理论计算中模型应用正确． 航天微电子器件灵敏体积(民)的厚度d在预估 2原理 空间单粒子效应中是一个关键参数．这是由于多数 预估SEUfSE