一种新型三维实体到标准工艺版图的转换方法.pdfVIP

第19卷第5期 传感技术学报 V01．19No．5 CHINESE OFSENSORSANDACHJATORS 2006年10月 JOURNAL Oct．2006 A TransferMethodfrom3D to2D Novel Model Mask Layout XUJing-hui，YUANWei—zheng。，CHANGHong—long，XIEJian-bing (MicroandNanoElectromechanical 710072，China) SystemsLaboratory，No坨^twsfPMPolytechnicalUniversity，Xi’a?t Abstract：Basedonthe oftheformatofasub-standard3Dsolidmodelfile(SATformat)，we study presen— tedatransfermethodforthe3Dsolidmodelstostandard transferinter— CAD-layouts．Thecorresponding facewas in ofthetransfermethodwasvalidated akind developedVC++language．Thevalidity byusing of MEMSdevice-micro-machinedaccelerometer．Theresultshowedthatthetransfermethodisfea— typical sible． words：MEMSCAD；3D Key model；layout；interface E]巴蛔C：0290Z 一种新型三维实体到标准工艺版图的转换方法 徐景辉，苑伟政。，常洪龙，谢建兵 (西北工业大学微／纳米系统实验室，西安710072) 摘 要：研究了一种准标准格式的三维实体文件的结构，在此基础上提出了三维实体到标准工艺版图的转换方法，并采用 法是切实可行的． 关键词：MEMSCAD；三维实体；版图；接口 中图分类号：THl66 文献标识码：A 目前，微机电系统工艺设计的方法一般是首先 艺版图的转换是这种设计方法的核心． 绘制器件的版图[1]，进行相应的设计规则检查之后， 进行三维重构得到器件的三维实体模型，再对此三 艺版图的转换方法．如图1所示，该方法首先利用有 维实体模型进行性能仿真．如果仿真结果不符合设 限元分析软件ANSYS对三维实体模型进行有限元 计要求，则修改版图，重构三维实体并重新仿真，如 网格划分，使用ANSYS自带功能抽取网格划分后 此迭代多次直到满足设计要求为止，最后将经过多 实体的点、线、面等几何信息，并分类保存；再将保存 次修改的版图用于加工制版．这种设计方法存在以 的几何信息导人到一个“转换器”中，该“转换器”利 下不足：一是要求设计者必须精通版图绘制；二是每 次迭代都需要对版图进行三维重构，过程复杂，效率 实现，能将抽取的三维实体模型几何信息以标准工 低下．而一种比较理想的设计方法是首先构造器件