电界放射顕微镜からアトムプローブへ.doc

第６章　電界放射顕微鏡からアトムプローブへ “原子の直接観察?分析への歩み” 6.1節　はじめに 　１９５０年代の初頭、科学者はX回折法により間接的に原子の存在を確信していたが、一つ一つの原子が結合して物質を構成している像を直接見た訳ではなかった。この時、原子を見たいという願望に応えて発明されたのが電界イオン顕微鏡 (Field Ion Microscope, FIM) であって、類い稀なる優れた実験技術と豊かな独創性を持つ一人の科学者(Erwin W. Müller)の長年に亘る研究の成果であった。 　Müllerは,1936年, 25歳の若さで電界放射顕微鏡 (Field Emission Microscope, FEM)1） を発明し,1955年, 48歳でFIMを、続いてアトムプローブ(Atom Probe, AP)を発明したのは1967年, 56歳の時である。30年以上に亘り独創的な研究を推進した経歴は驚異ですらある。 　Müllerの表面科学への貢献は上記の機器の発明に止まらず, 電界電子放射, ガス原子の電界イオン化, 表面原子の電界蒸発と言う特異な物理現象を実証すると共に, それらの現象を上記の機器の開発に生かした点にある。 　こうした点に注目して, Müllerがどのように独創的な発想を育て, 発展させ, 実現していったかを辿ってみたい。 6.2 節　電界放射顕微鏡の誕生 　当然の事ながら, 画期的な研究成果は一人の研究者により突如に生み出されるものではない。優れた研究の前には必ず前駆的な研究がある。例えば, 相対性理論の前にはLorentz 変換があり、ニュートンの万有引力はケプラーの法則に触発されている。MüllerによるFEMの発明も同様である。ベルリン工科大学で, Franck-Hertz実験でノーベル賞を受賞したHertz教授の下で博士号を取得した後, Siemens研究所に移り, 電界放射の研究を始めた。動機は, 1928年に行われたEyring、Mackeown、Millikan（ミリカンは油滴実験によりノーベル賞受賞）による針状のTipと呼ばれる陰極からの電界放射電流の測定であり1, FowlerとNordheimによる電界放射の理論解析であった2)。しかし, 当時は電子の放出は熱電子か光電効果によると考えられていたのでこの成果に注目する研究者は少なかった。 　1936年に至って, WehneltとSchillingが鋭いナイフの刃から, また, JohnsonとSchockleyが線状陰極の微細な突起から電子が電界放射されると報告しているが, 放射電流が映し出す像は放射面の構造と対応するものではなく, FowlerとNordheimの理論に合致する放射特性を示すものでもなかった3)。 　同じ頃, Müllerは単一の突起からの電界放射像を観察するためにタングステンの針を作成し, 針の前方にスクリーンを設置した（図１）。ここでMüllerの独創的な点は, FowlerとNordheimにより示された電界放射に求められる電界強度を実現するために極めて鋭いタングステンの針を作成した事であり, タングステンのループの先端に針を点溶接し, ループを通電加熱出来るようにした事にある（図２）。 　針を千度以上に加熱する事により針先の放射面を清浄化し, タングステンの(110)面を中心とする電界放射像の観察に成功したが4), 当時の真空装置や高圧電源を考慮すると, 大変な困難が伴ったのではないかと考えられる。Müllerのあくせくする姿を見て, von Laue教授が「そんなに努力しても何も意味のある結果は得られないよ」と忠告したとの話が伝わっている。 　このような困難な状態を支えたのは, 当時, ナチの政策に反対し, ベルリン工科大学からSiemens研究所への移籍を余儀なくされたHertz教授であって, ナチ党員ではないため, 恵まれない研究環境にいたMüllerをSiemens研究所へ呼び寄せた。従って, Müllerが教授資格(Habilitation)を取得するのは戦後の1950年の事である。 　何れにしろ, 電子は針先の半球面から前方のスクリーンに向かって放射状に放出されるので, レンズもない簡単な構造のFEM像の倍率Mは, 針先の曲率半径rと, 針先からスクリーンまでの距離Rの比となり, r = 100 nm, R = 10 cm とすると, M = R/r = 106と高く, 分解能も２ナノメートルと当時としては驚異的なものであった。1940年になって, Haeferが放射電流を定量的に測定し, FowlerとNordheimの理論と一致する事を実証し5), FEMの有用性