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JEM 100 CX II真空系统维修案例一 张康 2016.3.2 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 目录 一、JEM 100 CX II真空系统简介 二、故障描述 三、排查过程 四、维修过程 五、总结 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 一、JEM 100 CX II真空简介 JEM 100 CX II真空系统包含机械泵两台，油扩散泵两台（循环水系统），空压机一台，皮拉尼规四个，缓冲罐两个，电磁阀若干，真空管及接口若干。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 主要参数： 真空度要求：10-5Pa 空压机压力：3-5kg/cm2 机械泵：10-3Pa 扩散泵10-2——10-7Pa（冷阱可进一步提高真空度和抽气速率，可选） 皮拉尼规真空度：10-2Pa——10-5Pa Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 正常抽气流程 第一阶段：初始阶段 1.打开循环水和电源后，空压机首先开始工作； 2.空压机压力达到3.8kg/cm2后，机械泵开始工作； 3.V11，V24，V14，V16指示灯亮，表示RP1，RP2正在抽缓冲罐1，缓冲罐2，底片室，样品交换仓； 4.同时A面板DP灯亮，表示DP处于加热状态。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 第二阶段：粗抽阶段 1.V14切换至V25，V10亮，表示RP2开始抽镜筒粗真空，V11，V24，V16继续亮，表示RP1持续抽DP1，DP2前级真空； 2.至A面板HIGH灯亮为止，表示镜筒， DP，皮拉尼规前级真空均已抽好，且DP加热完毕，将开始细抽。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 第三阶段：细抽阶段 1.自HIGH灯亮开始，表示 DP开始细抽镜筒真空。 2.V8，V7，V23灯亮，表示DP2正在抽观察室，DP1正在抽镜筒和阳极室。 3.最后亮的灯是V4，V1以及A面板READY，表示整个真空系统抽气过程完毕，镜筒处于高真空状态，可以开始加高压。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 二、故障描述 1.开始的故障是真空抽得比较困难，比平时时间延长很多，且时能抽上时不能。 2.空压机压气效率下降且有较大噪声。 3.逐渐发现电磁阀处有放气的声音，且越来越大。 4.完成初始抽气阶段后，一直停在V10灯亮这一步，无法继续向下进行。 5.放气现象越来越严重，起初以为是镜筒主动放气，后发现放气速率渐渐大过空压机压气速率，当空压机压力小于3kg/cm2时，机械泵停止工作，整个真空系统停机。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 初步判断 总体描述：真空系统启动困难，粗真空抽不上，但DP加热正常，表示前级压力无法达到要求—— 但无法判断是下列问题的哪一种： 空压机压缩效率问题 机械泵抽气效率问题 V7，V8，V23阀门问题 皮拉尼规探头问题。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET