基于keithley+model+590对微悬臂梁电容的测试.pdfVIP

电子测量与仪器学报 2006年增刊 model，590 基于keithley 对微悬臂梁电容的测试 _ 刘海涛1，2 董金珠1’2’陈永平1梁平治1 (1．中国科学院上海技术物理研究所，上海200083) (2．中国科学院研究生院 北京 100049) 摘要： 在硅幕上制作的微悬臂梁和硅衬底组合形成微悬臂梁电容。微悬臂梁在吸收红外辐射后温度变化并弯曲，导致微 model590可枪测微悬臂梁电容的微小变化，从而得到红外辐射情况。 悬臂梁电容大小发生改变。利用测微小电容的keithley 关键词： keithley微悬臂梁电容 Micro—cantileverisDetected model590 keithley Capacitor by LiuHaita01·2 Jinzhul2 Chen Dong Yongpin91LiangPingzhil InstituteofTechnical 200083 (1．Shanghai ofSciences，ShanghaiChina) Physics，ChineseAcademy Schoolofthe 100049 China) (2．PostgraduateChineseAcademyofSciences，Beijing Abstract：Amicro—cantileverisformedmicro．cantileverwhichisfabricatedonsiliconsubstrateandsiliconsubstrate． capacitor by Themicro-cantilever aSthemicro-cantileverbendsbecauseitabsorbs andits capacitorchanges infrared(IR)radiationtemperature rises．Thesmall ofthemicro—cantilevercanbedetected model590whichcanbeusedtomeasure very change capacitor bykeithley small informationoflRradiationisobtained the ofthemicro—cantileverisknown． capacitor．The throughchange capacitor micro．cantilever Keywords：keithleycapacitor． 在自然界中红外辐射所包含的信息仅次子可 材料薄膜，它会随着温度的变化而发生弯曲。微恳 见光，对红外辐射的探测具有很重要的意义，红外 臂梁非致冷红外探测器就是利用这种原理，用金属 成像技术不仅用于夜视，而且还广泛应用于环境检 测、医疗诊断、航空遥感、精密仪器设备等等Il】。 材料微悬臂梁，SiNx在红外辐射下吸