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上海盛剑环境系统科技有限公司 制程二次配排气系统简介 刘庆磊 2014年8月27日 上海盛剑环境系统科技有限公司 制程排气供应系统 系统介绍 技术说明 施工准备 施工技术要求 目录： 上海盛剑环境系统科技有限公司 制程排气系统 系统介绍： 由制程机台至主管支管之间连接风管，统称二次配排气风管（Exhaust Hook-up Ducting）工程；其主要是将制程机台所产生之各种废气（例如酸碱性废气、挥发性有机废气、一般性废气等等）经由二次配排气风管排至排气支管、主风管等再导入废气处理设备处理，处理后废气再排放至大气中的整个排气系统过程。 上海盛剑环境系统科技有限公司 制程排气系统 技术说明： 制程排气的目的：在产品制造过程中，无可避免地必须使用不同种类的化学物质，为了提高产品的良率，必须精密控制产品所接触环境的空气质量。而制程排气系统（Exhaust System），虽非制程生产所需设备，但却是为生产区域营造一个可供生产人员在安全情况下的工作环境，因此制程排气系统，从废气物质兼容性至排放气体输送，以至于各种污染处理设备，皆需经严格且缜密选择，这些均是环环相扣缺一不可。 上海盛剑环境系统科技有限公司 制程排气系统 技术说明： 排气系统分类： 制程流程中，使用机台种类相当烦多，各种排放物质种类更是不胜枚举，若要针对单一种类设置单独排放处理设施，不仅有其设置上的因难，而且施工上及日后维修保养更属不易，因而，依据排放之特性大致上区分为酸、毒性（Acid Exhaust）、碱性（Alkali Exhaust）、有机溶剂（Solvent Exhaust）及一般排气（General Exhaust）四个系统： (1) 酸、碱性废气：其主要来源为化学清洗工作站，清洗芯片时所产生之挥发性气体，此气体部分含有浓烟，部分则对呼吸系统有刺激性作用有害人体，故必须经过Central Scrubber做水洗中和处理后，再排入大气。 (2) 毒 性 废 气：其主要来源为化学气体沉积，（CVD）干蚀刻机、扩散、离子植入机及磊晶等制程时所产生，由于以上之制程均使用大量的毒性气体，因此在其机台本身即设置有Local Scrubber 作先行处理，再送至Central Scrubber 做水洗中和处理后，再排入大气。 (3) 有机溶剂废气：目前所见到大多以活性碳吸附塔或采用沸石浓缩转轮+燃气式焚化炉，去除率可达90﹪以上，为目前较佳之空气污染控制技术。 (4) 一 般 废 气：其来源为机器运转发热产生不含有害物质，故可经由排气设备直接排入大气。 上海盛剑环境系统科技有限公司 制程排气系统 施工说明： 洁净室培训： 在二次配施工阶段所有厂房基本都已经进入无尘室三级管制阶段，因此首先应对施工作业人员一定要进行无尘室施工培训，并考核合格后方能进入无尘室施工。进入无尘室施工必须要进行申请。 所以人员必须按照规定的人员动线行进，从单一的管制口登记后进出，并接受管制人员检查，服从管制。 禁止携入非必须用品，如香烟、打火机。非洁净纸张等物品。 洁净室内禁止吸烟，食用任何物品，禁止随意丢弃物品。 人员进入无尘室流程 1.在脱鞋区将鞋整齐放在鞋架上，赤脚（必须穿袜子）进入一次风淋室、接受工安检查，填写登记表格。 2.口罩、网帽、无尘服、鞋、手套、安全帽依次按规定穿戴整齐，二次洗手烘干，进入二次风淋室。 3.严禁穿洁净服出入室外，从其他物料口出入。 物料进入无尘室流程 1、携入无尘室之前，工具、物料、附件必须要在无尘室外擦拭干净，不能有油、锈、灰尘等。 2.不可将纸箱、木质类发尘源带入洁净室。 3.脚手架、手推车轮子要用斑马胶带包裹。A字梯要用无尘布包裹 上海盛剑环境系统科技有限公司 制程排气系统 施工说明： 物料进入无尘室流程 1、携入无尘室之前，工具、物料、附件必须要在无尘室外擦拭干净，不能有油、锈、灰尘等。 2.不可将纸箱、木质类发尘源带入洁净室。 3.脚手架、手推车轮子要用斑马胶带包裹。A字梯要用无尘布包裹 上海盛剑环境系统科技有限公司 制程排气系统 施工步骤及方法： 1、风管的安装标高，对于矩形风管是从管底算起，而圆形风管是从风管中心计算，在安装吊架时应引起注意。圆形风管的管径由大变小时，为保持风管中心线的水平，托架的标高应按变径的尺寸相应地提高。 2、为保证法兰接口的严密性，法兰之间应有耐高温、防腐蚀PTFE密封垫。在无特殊要求情况下，法兰垫料按标准选用。 3、 风管安装：根据施工现场情况，可以在地面连成一定的长度，然后采用吊装的方法就位；也可以把风管一节一节地放在支架上逐节连接。一般安装顺序是先干管后支管。应及时固定和调整支架，支架