基于德拜和Callaway模型的纳米薄膜热导率分析.pdfVIP

中固T程热物理学会 传热传质学 学术会议论义 编学：063278 ． 1 热导率分析II枣，II、·J—t一／J’ 刘其鑫，姜培学，向恒 热科学与动力工程教育部重点实验室，清华大学热能工程系。北京100084，． 1 1 联系电话：(00)6277266 摘要：本文利用MD模拟的结果，基于德拜模型和Callaway模型的固体热导率理论对纳米氩薄膜热 导牢进行了分析。结果表明：选择适当的参数，基于德拜模型和Callaway模型的固体热导率理论能很 好地描述纳米氩薄膜的热导牢。本文还从理论上说明了纳米氩薄膜热导率的尺寸效应足由声予在薄膜 边界散射引起的，空位缺陷对薄膜热导率的影响机理与尺寸效应的机理不同。 关键词：纳米氩薄膜德拜模型Callaway模型MD模拟热导率’空位缺陷 1．引言 厚度为微米～纳米量级的电介质固体薄膜的热导率对于各种微电子器件的设计具 有重要意义，薄膜热导率与薄膜温度、薄膜厚度及薄膜内缺陷的浓度有关。在微米／纳米 尺度下，薄膜的法向热导率具有尺寸效应，即小于大体积下的实验值，并且随着薄膜的 厚度减小而减小。薄膜的热导率还与其所含缺陷的浓度有关，缺陷的存在将导致薄膜热 导率的下降。 一 目前对于厚度在100纳米以下的薄膜法向热导率的测量比较困难，因而分子动力学 模拟成为了一种有效的研究方法。文献【1．4】利用分子动力学模拟计算了不同厚度薄膜的 热导率，模拟结果表明其值具有尺寸效应；对于纳米薄膜热导率尺寸效应的解释是声子 在边界发生散射导致热导率下降。对于缺陷导致热导率下降一般认为缺陷破坏了晶格排 列的周期性【5】。对于同体热导率的理论研究，文献【6．8】对块体材料固体中由声子引起的 热导率进行了理论分析，文献【9】理论分析了半导体纳米线薄膜热导率，文献[10]署lJ用半 分析模型分析了硅纳米结构的热导率。本文将利用分子动力学模拟结果，基于德拜模型 和文献【7】提出的Callaway模型对氩纳米薄膜热导率进行理论分析。 理论分析模型及分析方法 在氩【蠲体中。热传递基本上依靠声子。根据圆体物理学11¨，组成固体的原子在不停 地围绕平衡位置振动。品格具有周期性，因而，晶格的振动模具有波的形式，称为格波。 在简谐近似下格波是相互独立的，按量子理论每种简正振动的能级是量子化的；声子就 是指格波的量子。一个格波也就是一种振动模，称为一个声子。把固体中的所有声子看 成声子气体，根据气体动力论，同体中由声子引起的热导率可以表示成下式： 尼：：1Cv．五； (1) 一 3 式中c，，是单位体积热容，兄是声子的平均自由程，v为“声子”速度(为了简化通常取 ‘本文得到清华人学基础研究基会(JCpy2005049)资助 26 为同体中的声速。 根据同体理论中热容的德拜模型，上式可以写成： 玉拼 ％fJo 笪秽 堂眇竺q比 成为： ．+ r云1=f；1+f二1+f；1+f孑1 (3) 其中，％是边界散射引起的迟豫时间，知和乃分别是N过程和U过程引起的迟豫时 间，f，，是点缺陷散射引起的迟豫时间，它们的表达式见下表： 表1声子散射迟豫时间表达式 名称