程序系统工程-成大化工系-成功大学.ppt

奈米材料科技暨尖端化工科技發表會 光電/陶瓷材料 教授研究現況 光電/陶瓷材料 洪昭南 吳季珍 高振豐 陳進成 鍾賢龍 高振豐實驗室 精密陶瓷及特殊材料之合成、性質及其應用之研究 鈦(矽)酸鈣、鍶、鋇之各種製程及光、電、化學性質的研究 鋰離子電池之研究 高導電性化合物之合成及其性質研究 燃料電池之設計及增進效率之研究 高價值之有機物的合成、電化學工程及應用電化學之研究 * 電漿實驗室A Dream Makes a Team 教授 洪昭南 專長/ 研究領域 電漿技術、光電薄膜與元件、微機電、 真空鍍膜技術、薄膜材料、金屬及陶瓷材料 研究主題 1.光電與耐磨耗奈米晶體複合薄膜之研究 2.類鑽碳 3.有機發光二極體 4.中空陰極電弧放電 5.微放電陣列式常壓均勻冷電漿之開發及應用 6.鑽石薄膜 1.光電與耐磨耗奈米晶體複合薄膜之研究 本實驗室在研究中，已逐步的探討奈米晶體析出的機構並發表於期刊(Appl. Phys. Lett. 82(20), 3526 (2003))。在發光元件的研究方面，亦利用感應耦合式電漿系統輔助電子槍蒸鍍系統進行非晶質氮化矽基質包覆矽奈米晶體的研究。 2.類鑽碳 類鑽碳(Diamond-Like Carbon ,DLC) 膜具有和鑽石相近的特性，嚴格區分可分為兩種，一為真正的類鑽碳膜，膜內不含氫或只是含極少的氫原子，我們稱之為非晶質類鑽碳膜。已開發應用之技術:模具、切削工具、光學鏡片、電腦資料儲存。封裝、生醫材料、化學藥品貯存。 3.有機發光二極體 屬於自體發光固態元件，具有(1)低操作電壓(2)結構簡單、輕薄(3)自體發光，非利用光調變顯示(4)高亮度、效率(5)易達成全彩化顯示，等優點。實驗室目前的研究有(1)電極材料開發與改質(2)元件結構設計(3)相關製程開發(4)相關光化學機制探討 4.中空陰極電弧放電 本實驗開發之技術具有下列優越特點： 高密度電漿、無微粒產生機制、設備簡單、儀器成本較低、高能量離子源；應用方面有成長不含氫之類鑽碳膜或鑽石薄膜、成長奈米複合材料、奈米碳管及奈米鑽石薄膜、快速表面清潔處理及薄膜退鍍、可開發超音速離子束，並用於表面平整化處理、清潔、離子植入及低溫薄膜成長。 5.微放電陣列式常壓均勻冷電漿 本實驗室所開發的常壓電漿技術屬微放電陣列式冷電漿，係針對電極設計，配合高頻率低電壓電源以獲得高均勻性高電漿密度電漿，本實驗室目前正積極開發在合成碳微結構材料、鍍膜、蝕刻及表面處理上的應用。 Vent 6.鑽石薄膜 鑽石具有許多優異的物性以及化性，本實驗室現有成長鑽石薄膜之技術 （1）高成核密度 （2）低溫成長鑽石薄膜 （3）成長出高品質及高平整度之鑽石 尖端奈米材料實驗室Advanced Nanomaterials Laboratory一維半導體奈米材料One-Dimensional Semiconductor Nanostructures 主持人: 吳季珍 助理教授 E-mail: wujj@mail.ncku.edu.tw Nov. 08, 2003 成功大學化工系研究成果發表會 Why 1-D semiconductor nanostructures? Fundamental studies The roles of orderliness, dimensionality and size on physical properties Applications Nanoelectronics Functional, nanostructured materials Motivation SiNW complementary inverters-like structure Samsung, Korea 4.5 in. SWNTs-FED A MWNT tip attached to a silicon cantilever tip Fabrication of 1-D Semiconductor Nanostructures Top Down Bottom Up A) Direction by an anisotropic crystallographic structure of a solid; B) Confinement by a liquid droplet as in the vapor-liquid-solid process; C) direction through the use of a template; D) Kinetics control provided by a capping reagent; E) Self assembly of 0D nanostruc