等离子体技术的工业应用及其实践教学平台的构建-物理教学实验中心.ppt

多功能微波等离子体装置上实验研究结果 等离子体化学气相沉积金刚石膜 （111）晶面显露的金刚石 （100）晶面显露的金刚石 实验研究内容：工作气体种类、比例、工作气压、基片温度、微波功率对金刚石形核生长的影响 金刚石的形核研究 氮化碳晶体的合成研究SiCN晶体 目前光学膜的制备方法主要有： 磁控溅射（射频和直流）：TiN，Cu， 电子束蒸发：TiO2，SiO2 直流溅射：各种金属膜 光学薄膜的制备与分析 直流溅射原理示意图 电子束蒸发原理示意图 实验内容: (1) 增透、增反射膜的设计、制备与测试 (2) 直流溅射参数与膜的质量、沉积速率的关系 实验项目五: 光学膜的设计与制备 实验项目六：电弧放电制备金属纳米粒子 实验内容: (1)采用电爆法制备金属纳米粒子. (2) 测定所制得的粒子的比表面积,研究放电参数对粒子粒径的影响. 实验项目七: 微波烧结功能材料 微波高温烧结应用领域: 高品质陶瓷、钴酸锂、氮化硅、碳化硅、氧化铝、氮化铝、氧化锆、氢氧化镁、铝、锌、高岭土、硫酸钴/草酸钴、五氧化二钒、磷石膏/硫石膏等；烧结电子陶瓷器件：PZT压电陶瓷、压敏电阻等。 烧结原理: 均匀混合的物料或预先压制成型的料坯放入微波电场中，其中的极性分子和非极性分子就引起极化。偶极矩按照电场方向定向，由于该电场属于交变电场，所以偶极子便随着电场变化而引起旋转和震动，产生了类似于分子之间相互摩擦的效应，从而吸收电场的能量而发热，物体本身成为发热体。烧结波沿径向从里向外传播，这就能使整个样品几乎是均匀地被加热，最终完成烧结反应。 国内状况:南京杰全微波、南京三乐公司、长沙隆泰 实验内容: (1)微波烧结WC-Co 硬质合金材料,测试材料的相对密度、 制品的显微晶粒尺寸、抗弯强度、硬度等性能指标. 3 材料的表面处理 等离子体表面处理是利用等离子体所产生的活性粒子去改变固体材料的表面性能,可以是在表面添加或去除吸附的单分子层;可以与表面发生化学反应;可以是添加或去除表面电荷,可以是改变表面单分子层的物理或化学状态. 与刻蚀(etching) 、溅射(sputtering)、 沉积（deposition)的区别. 等离子体表面处理技术的应用 工件的等离子体清洗 改变材料的表面能 与表面能相关的性质： 可湿性(wettability)， 液体在材料表面的吸附，可湿性好表明有高的表面能和低接触角。 可打印性（Printability）,与表面能密切相关的性质：油墨（hydrocarbon-based ink),30-40dynes/cm;水性墨（water-based ink）,40-60dynes/cm 实验内容：研究不同气氛的等离子体对纤维、织物的亲水性、润湿性的影响，测量接触角的变化. 实验项目八：纤维、织物的表面改性 实验项目九：等离子体氮化、碳化 实验内容：利用含氮、碳的等离子体对金属材料表面进行氮化、碳化处理，研究等离子体参数与材料结构与力学性能的关系. 4 材料的加工 实验项目十：等离子体刻蚀加工 离子刻蚀的原理： 　　● 在低压下，反应气体在射频功率的激发下，产生电离并形成等离子体，等离子体是由带电的电子和离子组成，反应腔体中的气体在电子的撞击下，除了转变成离子外，还能吸收能量并形成大量的活性基团（Radicals） 　　● 活性反应基团和被刻蚀物质表面形成化学反应并形成挥发性的反应生成物 　　● 反应生成物脱离被刻蚀物质表面，并被真空系统抽出腔体 　　 等离子体刻蚀加工实验 微电子刻蚀加工原理图 实验原理示意图 研究内容：研究放电参数与刻蚀速率及加工质量的关系 实验项目十一：微波干燥成型木材 研究内容：微波干燥工艺条件对木材力学性能的影响 　 微波干燥成型木材 ? 　微波干燥木材是以湿木材作为电介质，在微波电磁场中的作用下，引起湿木材中水分子的极化，由于电磁场的频繁交变，引起水分子的剧烈运动，摩擦产生热量，从而使木材干燥。微波在被干燥木材内部直接作用，叫做“透热”。“透热”所需要的时间与木材的厚度无关，而与电场强度、微波频率以及木材的介电性质有关。 用微波干燥木材一般选用微波频率为915兆赫，微波穿透深度80㎜，而微波频率为2450兆赫，穿透深度50㎜，故完全能满足一般经加工完成的成品材。 1 微波干燥原理 2、微波木材干燥杀虫设备的特点 (1) 干燥速度快、效率高. 据资料表明