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平面内运动热执行器的节点模型.pdf
第19卷第5期 传感技术学报 V01．19No．5
2006年10月 CHINESEJOURNALoFSENSORSANDA∞IAToRs Oct．2006
A for
Nodal ModelIn-PlaneElectrothermal
Analysis
LI
Ren—gang，HUANGQing—all。，L_|Wei—hua
ofMEMS
(KeyLab ofMinistryofEduaction，SoutheastUniversity，Nanjing，210096，China)
nodal modelofthe electro-thermo·-mechanicalmicroactuatorsisintro‘·
Abstract：A
analysis in-planecoupled
duced．Thissimulatesthe thermal thermal
paper temperaturedependentconductivity，electricalresistivity
coefficient，andalsothenonlinearmechanicaleffects．Thismakesit to thesimula-
expansion possibleput
tionofelectrothermalmicroactuatorthenodal methodinto modelhasbeen
using analysis practice．This
verifiedaFEM thismodelis ithas
software，ANSYS．Theof rather
by accuracy high．Andhigh
efficiency．
words：electrothermal circuit
Key microactuator；nodalanalysismethod；Fourier’sseries；equivalent
EEACC：2575；8460
平面内运动热执行器的节点模型
黎仁刚，黄庆安。，李伟华
(东南大学MEMS教育部重点实验室，南京210096)
摘 要：本文提出了一种平面运动热执行器的热一电一机械耦合节点模型，此模型不仅可以仿真热执行器中随温度变化的热导
率、电阻率和热膨胀率效应，而且可以仿真热执行器机械域的几何非线性效应，从而使用于仿真热执行器的行为的节点法模
型实用化．ANSYS有限元仿真的结果证明此模型的不但精度较高，而且计算效率很高．
关键词：热执行器；节点模型；傅立叶级数；等效电路
中图分类号：TN402；TN405 文献标识码：A
随着MEMS技术的不断发展，对MEMS的设能，相比于在节点法中嵌入有限元法来计算温度分
计方法提出了越来越高的要求[1]．节点法已经成功 布的方法效率大为提高．目前使用的热执行器，从运
应用于机电耦合执行器的仿真[2]，在系统级设计和 动方向可以分为垂直于衬底和平面内运动两种，垂
仿真中具有明显的优势，但无法仿真热一电一机械 直于衬底的主要为双金属结构[6。71；而平面内运动的
耦合的热执行器，而不得不借助有限元方法[3]或者 热执行器[8。11|，虽然形状和
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