平面螺旋电感的计算和影响Q值的因素探讨.pdf

2006第五届中目(国际)纳米科技西安研讨会论文集 2006 平面螺旋电感的计算和影响Q值的因素探讨 王国波张流强夏华灿陈建阳 (重庆大学光电工程学院，重庆，400044) 摘要：用Moh姐方法计算出RF平面螺旋电感电感值，然后在其可扩展模型上对其进行计算机模拟，探讨了在高额域内电 感品质因素变化的规律，得出了氧化层厚度，线圃厚度，不同金属，内外径值田定时，线宽的变化等对Q值的关系，井分析讨 论得出在各个频段起主要作用的损耗因素． 关键词：电感计算。品质因素Q，计算机模拟 0引言 近年EhS：Soc概念的便携通信系统的强大推动，片上螺旋电感的设计也广泛起来。主要是要提高其基于硅射频集 成电路上的可靠性和效率。它们为电路提供了更好的性能和更好的集成度。然而，我们仍需作更多的努力Ⅲ’．高Q值 的电感是许多无源和有源电路的元件，它可以大大减小振荡器和放大器的相位噪声和功耗，而且可以组成低损耗的匹 配网络和滤波器【41。 l微电感模型 1．1徽电感的顶视图和音!|视图微电感的预视图和削视图如图1。2所示． I图1微电感预视图 图2 A-B剖面图 1．2电癌值的计算 andSimulationofInductorsandTransformersfor X还有ASlTIC(Analysis IC’s)…。虽然全波分析方法使计算 更精确，但由于耗费太多时闻，所以该法更适台作为一种验证方法而不是设计方法…。 面电流法求电感公式为： 细=华(h(翰坳坳2) 矽憋崩篓 2006第五届中国(蕾际)蚋米科技西安研讨会论文集 Pr∽eedtngs 其中：c 述公式可必求出给定尺寸的电感的电感值。 袭1拟合 Layout C3 C4 Square1．27 2．07 0．18 0．13 1．09 2．23 0．00 0．17 Hexagonal 1．07 2．2§ 0．00 O．19 Octagonal Circle1．00 2．46 0．00 0．20 2品质因素Q的研究 2．1等效电路 一 ． 电感在高频频段除表现出电感L的特性外，还具有一定的损耗电阻和分布电容。趋肤效应使导电的有效面积较直 流时大大减小，电阻增大，有电流通过时，电感层和终端引出层间形成寄生电容己、电感层和村底层寄生电容o，由 于硅衬底的特性，当电流存在时会形成硅衬底的寄生电容和寄生电阻：G-、尼t、G¨岛一是衬底硅的特性，分别是衬底 的介电常数和电导率。其等效模型可为电路图3”1。 图3微电感等效电路图 2．2‘品质因素 在射频段，还会由于磁场耦合引起的涡流损耗等等。考虑以上各种因素，我们评价微电感性能用q”来衡量。 Q=譬。可南×(t一警彳％] wL· 其中见项表示微电感中存储的磁能及其电阻损耗；第二项表示衬底损耗。即能量在硅衬底中的损失部分。最后一项 是电感的自谐振因素，表征由于频率增大使电场能最大值增加而使q值减小及超过谐振频率时Q值等于零两因素…。 2．3提高品质因素的方法 根据品质因素0公式，可以从工艺和布局两个方面来提高。刻蚀电感下方衬底体材料使电感悬空，这样可以减小衬 底损耗““，采用电介质