金盛微纳磁控溅射操作说明书规范.pptx

禁止：1. 湿手触摸电源。 2. 分子泵进气或者出气口暴大气。 3. 钢瓶减压阀顶压过高。 4. 不按照本操作规程操作。 1. 推上配电箱空气开关。禁止：湿手触摸开关。注意：在每个长假来临时，关闭电源空气开关。 2. 开启循环冷却水机电源（黄框内按钮）。 检查冷却水输出压力是否如右图所示。 设定温度可以更改，设置办法参看中科科仪循环冷却水机操作手册。 注意：定期跟换冷却水，冷却水必须使用蒸馏水或去离子水。 3. 插上空压机电源，待压力上升到一定 值之后，打开开关1，为气动阀门送气。 调节蓝色阀门，控制输出气压如左图。注意：定期排放空压机内的水。如果使用气枪，当空压机开始自动工作时，停止用气枪放气，等待空压机充气停止后，再使用。 1 4. 打开总电源开关。如果听到报警声，请检查冷却水是否开启。 5. 按下黄框内开关，开启机械泵和前级阀，抽真空3分钟以上。 6. 开黄框1内分子泵总电源，然后将黄框2内启动键按下，绿灯亮。转速频率表中示数，先由400开始下降，追踪到实际频率后，开始上升，最终达到400。 2 3 1 7. 打开真空计开关，黄框1是电阻规，主要用来测量大气和低真空，黄框2是电离规，主要用来测量高真空，任何时候均不允许用电离规测量低真空。在测量低真空时，按下黄框3，使得电离规关闭，即黄框4，手动电阻档的灯亮起。 4 8. 打开V3阀，开始抽真空，到真空到3Pa时，V3自动关，V2自动开。注意：严禁在按下V3阀开后再按下V3阀关。如果进行了此项操作，将会导致分子泵出气口暴大气，导致分子泵叶片破碎。 9. 打开插板阀，开始用分子泵抽真空。 1 2 10. 当真空达到所需本底真空时，将电离规调至手动电阻档。 11. 打开射频电源总开关开始预热。 12. 逆时针旋转框中阀门，打开进气角阀。 13. 打开钢瓶气阀，然后将标有“LESCO”字样的减压阀慢慢沿着顺时针方向拧紧，当左表压力到达右图数值时，停止拧紧。注意：切勿将压力顶得过高，过高的压力会损坏质量流量计。 14. 打开最右边流量计开关，将开关拨到阀控档，调节旋钮，得到一个合适的流量。 15. 慢慢关小插板阀阀门，调节插板阀开口大小和进气流量，得到所需溅射气压。 16. 等待图中黄框中红灯亮起，则射频溅射电源预热完毕。 17. 按绿色按钮，打开所用溅射靶挡板，然后按下右图中样品盘旋转按钮。 18. 先按下ON，然后上调Ua电压。 a b c 19. 当a图中有自偏压示数时，开始计时。在c图中，旋转中间按钮，选择合适的量程，调节左右两个按钮，使得b图中，forward示数达到自己所需的溅射功率，同时使得reflected示数达到最小。如果使用直流源溅射，直接开启即可，无需预热。 20. 当溅射时间到时，关闭Ua，然后按下OFF。然后将流量计显示仪上开关从阀控打到关闭，然后关闭进气角阀，关闭钢瓶出气阀。 21. 关闭插板阀。 22. 关闭真空计。关闭靶挡板，关闭样品台旋转。 1 2 4 3 23. 按充气V4按钮，等允许亮时，按黄框2，升起仪器顶盖，换样，然后按黄框4按钮，降下顶盖，对齐边缘，关闭V4，重复第7步。 24. 一天实验完毕后，关闭插板阀，按下停止键（黄框2），待黄框3表上示数到0时，关闭黄框1内电源。 25. 关闭机械泵（黄框内按钮）。关闭总电源，关循环水电源，关空压机。