探测器光电响应差异对差动共焦瞄准信号的影响分析.pdfVIP

探测器光电响应差异对差动共焦 瞄准信号的影响分析 周军现，张建寰，肖成榕 厦门大学机屯工程系) 摘要：应用差动共焦光学系统对超精密加工的表面进行瞄准测量时，差动连接的光电探测嚣 的光电特性差异、光路调节d及探测器前的小孔光阑的不一致，造成T光电探测嚣输出信号 差异，并影响到差动系兢输出的瞄准信号，最终影响到差动共焦测量系统对加工袁面的测量 精度覆分辨特性本文通过时差动共焦剥量系统输出信号理论模型的分析得出差动共焦探剥 嚣输出信号的差异对共焦测量的瞄准信号无影响但时差动共焦瞄准的分辨力有影响 关键词光学测量；差动共焦：瞄信信号，分辨力 Abstract：When ultra-preciselymachined coofocal difiefenceofthe ofthe di疵rential microscopy(DC