掺杂Sb对SnO2透明导电膜导电性的影响分析.pdfVIP

第27卷第4期 《陶瓷学报》 V01．27．NO．4 2006年12月 JOURNAL0FCERAMICS Dec．2006 文章编号：1000—2278(2006)04-0363_07 掺杂Sb对Sn02透明导电膜导电性的影响分析 于长凤-朱小平1张脉官z凌青s戴静1 摘要 采用溶胶凝胶法制备透明导电膜，并考察了sb的掺杂量、热处理温度对薄膜方块电阻以及对薄膜透光率的影响。在SnO。掺 透光率达到90％以上。 关键词：掺杂Sb，SnO。薄膜，透明导电膜，导电性 中图分类号：TQl74．75文献标识码：A 1前言 透明导电膜以其接近金属的导电率、可见光范围 内的高透射比、红外高反射比以及其半导体特性，在 薄膜晶体管制造、平板显示、太阳电池透明电极以及 红外辐射反射镜涂层、火车飞机用玻璃除霜、建筑物 幕墙玻璃等方面获得广泛应用【ll。 色溶胶。