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半导体基础知识与晶体管工艺原理
目 录
第一章 半导体的基础知识
1-1半导体的一些基本概念
1-1-1什么是半导体？……………………………………………………4
1-1-2 半导体的基本特性………………………………………………. .4
1-1-3 半导体的分类……………………………………………………...4
1-1-4 N型半导体和P型半导体……………………………………….5
1-1-5 半导体的导电机构……………………………………………….6
1-2 P-N结………………………………………………………………………9
1-2-1 P-N结的构成…………………………………………………….9
1-2-2 P-N结内的载流子运动和平衡…………………………………10
1-2-3 P-N结的基本特性………………………………………………10
1-3 二极管………………………………………………………...……………12
1-3-1 二极管的基本构成………………………………………………..12
1-3-2 二极管的特性曲线（伏安特性）………………...…………….12
1-3-3 二极管的分类……………………………………………………13
1-4 晶体管（仅讲双极型）……………………………………………………13
1-4-1 晶体管的构成…………………………………………………….13
1-4-2 晶体管的放大原理……………………………………………….15
1-4-3 晶体管的特性曲线……………………………………………….18
1-4-4 晶体管的分类…………………………………………………….21
1-4-5 晶体管的主要电参数…………………………………………….21
第二章 晶体管制造工艺与原理
2-1 典型产品工艺流程……………………..…...………………………………24
2-1-1 晶体管的基本工艺流程…………………………………………..24
2-1-2 典型产品的工艺流程…………………………………...…………24
2-2 晶体管制造主要工艺的作用与原理……………...………………………..25
2-2-1 氧化工艺…………………………………………………………..25
2-2-2 扩散工艺…………………………………………………………..26
2-2-3 离子注入工艺……………………………………………………..30
2-2-4 光刻工艺…………………………………………………………..31
2-2-5 蒸发（真空镀膜）工艺…………………………………………..32
2-2-6 CVD工艺…………………………………………………………..33
2-2-7 台面工艺…………………………………………………………..34
2-2-8 三扩、磨抛工艺…………………………………………………..35
2-2-9 清洗工艺…………………………………………………………..36
2-2-10 中测、划片工艺…………………………………………………36
2-3 常见的工艺质量问题以及对产品质量的影响……………………………….37
2-3-1 工艺质量问题分类…………………………………………………37
2-3-2 常见的工艺质量问题举例…………………………………………37
2-4 工艺纪律和工艺卫生的重要性……………………………………………….41
2-4-1 半导体生产对空气洁净度的要求…………………………………41
2-4-2 工艺卫生的内涵…………………………………………………..42
2-4-3 工艺卫生好坏对半导体生产的影响……………………………..42
2-4-4 工艺纪律的内涵…………………………………………………..43
2-4-5 工艺纪律的重要性………………………………………………..43
第一章 半导体基础知识
1-1半导体的一些基本概念
1-1-1 什么是半导体？
导电能力介于导体和绝缘体之间的物质，叫做半导体。
物质的导电能力一般用电阻率ρ来表示。电阻率是指长1cm ，截面积为1平方厘米的物质的电阻值，单位是欧姆·厘米（符号是Ω-cm）。
电阻率越小，说明物质的导电性能越好；反之，电阻率越大，说明物质的导
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