无阀型微泵中微扩散收缩管的静态分析.pdfVIP

无阀型微泵中微扩散／4女缩管的静态分析 赵全亮邱成军 张辉军崔今花 黑龙江大学 集成电路重点实验室 黑龙江 哈尔滨 150080 出了扩散／收缩管的开口角度在小角度变化时，扩散效率在不同压强差区域的变化规律，及过渡点压强 差值与开口角度的关系．同时也给出了在只改变长度的情况下不同压强差区域扩散效率的变化趋势，并 且得出在不同压强差区域长度对扩散效率的影响． 关键词：无阀型微泵扩散管 收缩管静态分析 1．前言 近年来，基于硅微机械加工技术制备的微泵德到了飞速发 展，各种驱动方式和结构的微泵不断涌现。其中无阀型微泵以 其工作频率高、可靠性好等优点成为了研究的热点，并且人们 不断致力于提升它的性能【l’21。对于无阀型微泵来说，不仅驱 动膜片的驱动能力是影响微泵性能的关键因素，而且微扩散／ 收缩管的几何参数设计也直接影响着微泵性能的好坏【31。因 此，为了优化设计扩散／收缩管，有必要了解扩散／收缩管中 图l平板型扩散／收缩管示意图 流体的运动状况。 本文模拟的是矩形截面的平板型扩散／收缩管(如图1所示)，由于它和