压电传感器说课.ppt

上海第二工业大学 上海第二工业大学 Shanghai Second Polytechnic University 压电式传感器 压电式传感器 是一种典型的有源传感器(亦称自发式传感器),它是以 具有压电效应的元件为基础,实现非电量电测的传感器。 具有响应频带宽,灵敏度高和信噪比高等优点,故被广 泛应用于工程力学,生物医学以及电声学等领域。 压电式传感器 1.工作原理: 压电效应 某些物质，如石英，当受到外力作用时，不仅变形（几何尺寸会发生变化），而且内部也会被极化，同时在某两个表面上会产生符号相反的电荷,形成电场；当外力去掉时，又重新回到原来不带电的状态;若改变作用力方向,电荷的方向也随着改变,这种现象称为压电效应。 压电式传感器 F + q=DF 压电式传感器 1.工作原理: 逆压电效应 在压电材料的某些方向上施加电场，它会产生机械变形，去掉外加电场后，变形随之消失，这种现象称为逆压电效应。 所以压电元件可以将机械能转换为电能，也可将电能转换为机械能。 2.压电材料: 压电单晶：石英(常用于精确度和稳定度要求特别高的场合)、铌酸锂（人工拉制，适用于高温传感器，质地脆，抗冲击性差，价格较贵,只是在校准用的标准传感器或精度要求很高的传感器中才使用）。 压电陶瓷：经处理后的人工多晶体，锆钛酸铅系列压电陶瓷（PZT），压电常数高，温度稳定性好，是目前使用最多的压电陶瓷。 新型压电材料：有机压电薄膜，压电半导体（硫化锌、氧化锌），具有半导体特性又具有压电特性 天然形成的石英晶体外形 天然形成的石英晶体外形 （a）晶体外形 （b）切割方向 （c）晶片 石英晶体各个方向的特性是不同的。其中纵向轴z称为光轴，经过六面体棱线并垂直于光轴的x称为电轴，与x和z同时垂直的轴y称为机械轴。通常把沿电轴x方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“纵向压电效应”，把沿机械轴y方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“横向压电效应”。而沿光轴z方向的力作用是不产生压电效应。 石英晶体薄片 2. 压电式传感器及其等效电路 在压电元件的两个工作面上进行金属蒸镀，形成金属膜，构成两个电极 + + + + + + + - - - - - - - F F 当压电晶片受到压力F的作用时，分别在两个极板上积聚数量相等而极性相反的电荷，形成电场 压电传感器可以看作是一个电荷发生器，也可以看成是一个电容器 电容量为： A-极板面积 -压电材料的介电常数 -压电晶片的厚度 2. 压电式传感器及其等效电路 电容器上的开路电压： 压电传感器可以看作是一个电荷发生器 积聚的电荷量q与作用力F成正比 d为压电常数,与压电材料及切片方向有关 因此压电晶片可以等效为一个与电容并联的电荷源或一个与电容串联的电压源。 等效电路 压电传感器在实际使用时总要与测量仪器或测量电路相连接，因此需考虑连接电缆的等效电容，放大器的输入电阻，输入电容以及传感器的泄露电阻。 注意：由于外力作用在压电元件上产生的电荷只有在无泄漏的情况下才能保存，即需要测量回路具有无限大的输入阻抗。后续电路的输入阻抗不可能无穷大，而且压电元件本身也存在漏电阻，极板上的电荷由于放电而无法保持不变，从而造成测量误差，利用压电式传感器不宜测量静态或准静态量值，而测量动态信号时，由于交变电荷变化快，漏电量相对较小，故适宜做动态测量。 3. 压电式传感器的测量电路 1、 高输入阻抗 2、放大 在传感器输出端先接高输入阻抗前置放大器，经过阻抗变换后，再接入一般的放大检波电路 a) 前置放大器作用： 1、将传感器的高阻抗输出转换为低阻抗输出（阻抗变化） 2、放大传感器输出的微弱信号 要求： 因为压电材料的内阻都比较高，而且输出的信号又比较微弱 实现： 前置放大器 电压放大器 b) 前置放大器的类型 电压放大器 具有高输入阻抗的用电阻反馈的放大器，输出电压与输入电压（传感器的输出电压）成正比；U=-Q/(Ca+Cc+Ci)（传感器电容，电缆电容，放大器输入电容）; 输出电压受电缆对地电容影响很大，故只适用于一般的振动测量，而且电缆不能很长，一般必须按传感器的要求严格选择电缆长度，电路虽简单，但使用复杂，目前已不多用。 电荷放大器 电荷放大器 高增益带电容反馈的运算放大器(等效电路见上图) 放大器的输出电压与输入电荷成正比，且与电缆对地电容无关，所以可接长电缆，而灵敏度不受影响；因此即使它比较贵，电路也更复杂，电荷放大器应用的更广泛 4. 压电传感器的应用 （1）力测量： 压电式传感器主要利用石英晶体的纵向和剪切的压电效应，因为石英晶体刚度大、滞后小，灵敏度高、线性好，工作频率宽。力传感