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培训课题:PCB碱性蚀刻液
讲 师:
培训时间:
蚀刻
印制电路板(PCB)加工的典型工艺采用“图形电镀法”。即先在板子外层需保留的铜箔部分上(是电路的图形部分)预镀一层铅锡抗蚀层,然后用化学方式将其余的铜箔腐蚀掉,称为蚀刻。
PCB蚀刻分为碱性和酸性两种,一为盐酸双氧水体系(酸性);二为氯化铵氨水体系(碱性)。
本PPT主要针对碱性蚀刻液进行讲解。
蚀刻液原理
在蚀刻过程中,板面上的铜被[Cu(NH3)4]2+络离子氧化,其蚀刻反应如下:
Cu(NH3)4Cl2+Cu →2Cu(NH3)2Cl
所生成的[Cu(NH3)2]1+为Cu1+的络离子,不具有蚀刻能力。在有过量NH3和Cl-的情况下,能很快地被空气中的O2所氧化,生成具有蚀刻能力的[Cu(NH3)4]2+络离子。
蚀刻液再生原理
碱性蚀刻液再生反应:
2Cu(NH3)2Cl+2NH4Cl+2NH3+1/2 O2 →2Cu(NH3)4Cl2+H2O
从上述反应可看出,每蚀刻1克分子铜需要消耗2克分子氨和2克分子氯化铵。因此,在蚀刻过程中,随着铜的溶解,应不断补加氨水和氯化铵,因而蚀刻槽工作液(也叫母液)会不断增加。由于所生成的[Cu(NH3)2]1+为Cu1+的络离子,不具有蚀刻能力,所以必须排除部分母液,增加新的子液(子液不含铜离子)来满足蚀刻要求。
碱性蚀刻液各组分作用
国内目前大多采用下列配方
溶液中各组份的作用:
NH3*H2O的作用是作为络合剂,使铜保持在溶液里。
NH4Cl的作用是能提高蚀刻速率、溶铜能力和溶液的稳 定性。
(NH4)3PO4的作用是能保持抗蚀镀层及孔内清洁。
碱性蚀刻液进行蚀刻的典型工艺流程
影响蚀刻速率的因素
影响蚀刻速率的因素
1.Cu2+浓度的影响
因为Cu2+是氧化剂,所以Cu2+的浓度是影响蚀刻速率的主要因素。研究铜浓度与蚀刻速率的关系表明:在0-11盎司/加仑时,蚀刻时间长;在11-16盎司/加仑时,蚀刻速率较低,且溶液控制困难;在18-22盎司/加仑时,蚀刻速率高且溶液稳定;在22-30盎司/加仑时,溶液不稳定,趋向于产生沉淀。
注:1加仑(美制)=3.785升 1盎司=28.35克 1盎司/加仑 =28.35/3.785=7.5G/1
影响蚀刻速率的因素
2.氯化铵含量的影响
通过蚀刻再生的化学反应可以看出:[Cu(NH3)2]1+的再生需要有过量的NH3和NH4Cl存在。如果溶液中缺乏NH4Cl,而使大量的[Cu(NH3)2]1+得不到再生,蚀刻速率就会降低,以至失去蚀刻能力。所以,氯化铵的含量对蚀刻速率影响很大。随着蚀刻的进行,要不断补加氯化铵。但是,溶液中Cl-含量过高会引起抗蚀层被浸蚀。一般蚀刻液中NH4Cl含量在180g/l左右。
影响蚀刻速率的因素
3.溶液PH值的影响
蚀刻液的PH值应保持在8.0~8.8之间。当PH值降到8.0以下时,一方面是对金属抗蚀层不利。另一方面,蚀刻液中的铜不能被完全络合成铜氨络离子,溶液要出现沉淀,并在槽底形成泥状沉淀。这些泥状沉淀能在加热器上结成硬皮,可能损坏加热器,还会堵塞泵和喷嘴,给蚀刻造成困难,如果溶液PH值过高,蚀刻液中氨过饱和,游离氨释放到大气中,导致环境污染。另一方面,溶液的PH值增大也会增大侧蚀的程度,而影响蚀刻的精度。
影响蚀刻速率的因素
4.温度的影响
蚀刻速率与温度有很大关系,蚀刻速率随着温度的升高而加快。蚀刻液温度低于40℃,蚀刻速率很慢,而蚀刻速率过慢会增大侧蚀量,影响蚀刻质量。温度高于60℃,蚀刻速率明显增大。但NH3的挥发量也大大增加,导致污染环境并使蚀刻液中化学组份比例失调。故一般应控制在45℃~55℃为宜。
自动控制调整
随着蚀刻的进行,蚀刻液中铜含量不断增加,比重逐渐升高,当蚀刻液中铜浓度达到一定高度时就要即使调整。在自动控制补加装置中,是利用比重控制器控制蚀刻液的比重。当比重升高时,带动比重控制器浮球上升,当比重达到某一程度时启动自动添加系统,子液添加到工作液中,自动排放比重过高的溶液,并添加新的补加液,比重降低而带动浮球下降,到某一程度时添加系统即自动关闭,使蚀刻液的比重调整到允许的范围。补加液要事先配制好,放入补加桶内,使补加桶的液面保持在一定的高度。
蚀刻过程中常出现的问题
蚀刻速率降低
这个问题与许
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