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压电材料的制备应用及其研究现状_何超.pdf

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压电材料的制备应用及其研究现状_何超.pdf

: * 何 超, 陈文革 (, : 从压电材料的压电效应入手, 介绍了压电 材料的分类及结构组成 针对不同压电材料在生产 实践中的应用情况, 列出现阶段压电材料的制备技 术 综述了近年来压电材料的研究现状, 并系统介 绍了压电材料在各个领域的应用和发展 : ;;; ; : TQ17 :A : 1001- 9731( 2010) - 0011- 03 1 20 , , , , , , ; , 71 0048 ) 图 1 电畴结构 Fig 1 Elect ric dom ain 2 2. 1 , 2( b) , , , , 2( a) , , , , , , , , , , , 1 , ; , , 2. 2 图 2 压电效应原理图 Fig 2 Piezoelect ric eff ect ( 3 ); ; ; * : 2010- 01- 21 : ( 1986- ) , , : 2010- 05- 18 ,, : 11 12 2 01 0 ( 41) 3 3. 1 1200 图 3 压电材料的晶体结构 F ig 3 Cry st al str uct ure o f piezoelect ric mat er ials 3. 3 , , , , [ 8] [ 9] SiO2 / Si P t/ T i , ( RF ) PZT , PbO , , , 800nm PZ T , , , , 3. 2 [ 1] [ 2] - , , 700 60nm BaT iO3 ; , 800 [ 4] [ 5] N b2 O 5 , [ 3] , T a2 O5 PZ T 98% , K T aN bO3 0. 5, , PZT 700 30min , d 33 - [ 6] 150~ 450pC/ N , ,, PZT [ 7] , , 4 , PZ T ; ( 3) ; ( 2) ; ( 4) : ( 1) PZ T P bO L i2 CO3 Bi2 O 3 M nO2 200~ 300 ; PbO PZT P ZT ; 150~ 200 , : ; ; , YMnO3 , , 3 ( P ZT , PbT iO3) [ 10] ( PVDF , ) PZT 60% PZT / PVDF 0- 3 PZT / PVDF 100 [ 11] , : , , , , PZT 620pC/ N 5 , 16 7. 5mW ;[ 15] [ 16] , , 250mW ; ,, , 18% 13 Inno wat t ech , 6 5. 1 , PV DF 5. 2 ; 5. 3 , , P VDF 5. 4 , P latt ; , [ 13] , , , , , ;[ 12] , ; PZT ; ; ; , 250~ 950 W 30V ;[ 14] : [ 1] Simon- Sev eyr at L , H aijaji A , Emziane Y , et al. [ J] . Ce- r am Int er, 2007, 33( 1) : 35- 40. [ 2] , , . [ J] . , 2004, 40( 4) : 25- 28. [ 3] , , . [ J] . , 2009, 31 ( 2) : 251- 253. [ 4] , , . [ J] . , 2007, 12 ( 6) : 201. [ 5] , , . [ J] . , 2007, 22 ( 1) : 45- 48. [ 6] , , , . [ J] . , 2008, 22( 3) : 307- 311. [ 7] , , . [ J] . , 2000, 31( 5) : 531- 533. [ 8] L iu S J, Zeng X B, Chu J H. [ J] . M icro electro nic Jo ur- nal, 2004, 35: 601. [ 9] , , . [ J] . , 2006, 28 ( 3) : 325- 327. [ 10] ,, , . [ J] . , 2008, 14( 5) : 931- 934. [ 11] , , . [ J] . , 2005, 36( 7) : 10 08 . [ 12] , . [ J] . , 2008, 14: 120. [ 13] Plat t S R, F arr ito r S, H aider H . [ J] . IEEE/ A SM E T r ansactio ns on T echtro nic, 2005, 10( 2) : 240- 252. [ 14] T ay lo r G W, Burns J R, K ammann S M . [ J] . I

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